Unidade principal de plasma de vácuo (150) |
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Tamanho do Equipamento |
L 1100×W 940×H 1755mm |
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Peso |
600kg |
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Fornecimento de energia sob demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 fios, 25A (tipo aberto total acima de C) |
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Especificações do gerador de plasma |
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Poder |
Frequência de Rádio |
frequência intermediária |
0~1000W |
0-2000w |
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frequência de fornecimento |
13,56 MHz |
40 K Hz |
sistema de vácuo |
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Bomba de Vácuo |
Bomba monopolar Leap VSV 65 + Bomba Bowse BSJ 70 |
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linha de vácuo |
Linha totalmente de aço inoxidável, bem como mangueiras de vácuo de alta resistência |
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Qualidade do Material |
alufer |
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Espessura |
25mm |
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hermeticidade |
Selagem por solda de grau militar |
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Dimensões internas da cavidade |
500*500*600mm (Largura * altura * profundidade) |
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Tamanho efetivo da placa elétrica |
372(L) X 451(P)mm |
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Espaçamento do espaço disponível |
24 mm |
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Arranjo de eletrodo |
Placa de eletrodo horizontal |
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Bandejas |
Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de aço) |
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Espaço de Trabalho |
8 camadas |
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Gás de processo |
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Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
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Rota do gás de processo |
Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de gás de processo é feito de ferroflon |
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Sistema de Controle |
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SC |
Controle por PC |
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modo interativo |
Interface do Windows |
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