Unidade hospedeira de plasma a vácuo(150) |
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Tamanho do equipamento |
C 1100×L 940×A 1755mm |
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peso |
600Kg |
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Fonte de alimentação de demanda |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linhas, 25A (tipo aberto total acima de C) |
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Especificação do gerador de plasma |
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poder |
frequência de rádio |
freqüência intermediária |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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frequência de alimentação |
13.56MHz |
40KHz |
Sistema de vácuo |
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bomba de vácuo |
Bomba Leap Monopole VSV 65 + Bomba Bowse Lots BSJ 70 |
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tubulação de vácuo |
Toda linha de aço inoxidável, bem como foles de vácuo de alta resistência |
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qualidade do material |
alufer |
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espessura |
25mm |
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aperto |
Selo de soldagem de nível militar |
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Dimensões internas da cavidade |
500*500*600mm (Largura* alta *profundidade) |
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Tamanho efetivo da placa elétrica |
372 (L) X 451 (P) mm |
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Espaçamento de espaço disponível |
24mm |
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Arranjo de galvanização |
Placa de eletrodo horizontal |
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bandejas |
Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de arame de aço) |
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área de trabalho |
camada 8 |
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Gás de processo |
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Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
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Rota de gás de processo |
Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de processo é feito de ferroflon |
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Sistema de controle |
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SC |
controle de PC |
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modo interativo |
Interface do Windows |
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