Máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV150, processador de limpeza de plasma, China MD-SPV150, processador de limpeza de plasma, fabricantes, fornecedores, fábrica

Descrição do Produto

MD-SPV150 Tratamento de superfície de plasma a vácuo

Máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV150 fábrica de processador de limpeza de plasma

Vantagens da limpeza a plasma a vácuo

A limpeza a plasma é um importante método de modificação de superfícies de materiais e tem sido amplamente utilizado em muitos campos.
E alguns métodos de limpeza tradicionais, como limpeza ultrassônica, limpeza UV, etc., têm as seguintes vantagens:
（A） Baixa temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80°C - 50°C. As baixas temperaturas de processamento garantem que não haja efeitos térmicos na superfície da amostra.
（B）Sem poluição durante todo o processo
O limpador de plasma em si é um dispositivo muito ecológico que não causa poluição e não causa poluição durante o processo de tratamento.
（C）Efeito de processamento estável
O efeito do tratamento da limpeza do plasma é muito uniforme e estável, e o efeito de manutenção da amostra após um longo período de tempo é bom.
（D）Pode lidar com amostras de vários formatos
Para amostras de formatos complexos, a limpeza por plasma pode ser a solução certa.

Parte da amostra

Máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV150 Fabricação de processador de limpeza de plasma

Especificação

Unidade hospedeira de plasma a vácuo (150)
Tamanho do equipamento	C 1100×L 940×A 1755mm
peso	600Kg
Fonte de alimentação de demanda	AC380V, 50 / 60Hz, 5 linhas, 25A (tipo aberto total acima de C)
Especificação do gerador de plasma
poder	frequência de rádio	freqüência intermediária
		0 ~ 1000W	0-2000W
frequência de alimentação	13.56MHz	40KHz
Sistema de vácuo
bomba de vácuo	Bomba Leap Monopole VSV 65 + Bomba Bowse Lots BSJ 70
tubulação de vácuo	Toda linha de aço inoxidável, bem como foles de vácuo de alta resistência
qualidade do material	alufer
espessura	25mm
aperto	Selo de soldagem de nível militar
Dimensões internas da cavidade	500500600mm （Largura* alta *profundidade）
Tamanho efetivo da placa elétrica	372 (L) X 451 (P) mm
Espaçamento de espaço disponível	24mm
Arranjo de galvanização	Placa de eletrodo horizontal
bandejas	Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de arame de aço)
área de trabalho	camada 8
Gás de processo
Faixa de fluxo	0~300SCCM
Rota de gás de processo	Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de processo é feito de ferroflon
Sistema de controle
SC	controle de PC
modo interativo	Interface do Windows

Ver fábrica

Detalhes do processador de limpeza de plasma da máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV150

Aplicações

Embalagem e entrega

Perfil

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução completa de equipamentos de linha de pacotes de front-end e back-end de semicondutores da China!