Hospedeiro de plasma a vácuo(200) |
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Tamanho do equipamento |
1050×1700×1050mm (largura, altura e profundidade) |
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peso |
800Kg |
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poder de demanda |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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Especificações do gerador de plasma |
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principal fonte de energia |
frequência de rádio |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Freqüência de potência |
13.56MHz |
40 KHz |
Sistema de vácuo |
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bomba de vácuo |
Bomba unipolar Feiyue VSV100 + bomba Ambas Roots BSJ70 |
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linha de vácuo |
Todos os tubos de aço inoxidável e foles de vácuo de alta resistência |
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material |
Liga de alumínio |
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espessura |
25mm |
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aperto |
Selo soldado de nível militar |
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Dimensões Internas da Cavidade |
600×600×600mm(L×A×P) |
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Tamanho efetivo da placa do eletrodo |
472 x 451 mm (L×P) |
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espaço disponível |
35mm |
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Layout da placa de eletrodo |
Placa de eletrodo horizontal |
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bandeja de trabalho |
Um conjunto é padrão e o material é opcional (alumínio, malha de aço) |
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Área de trabalho |
pisos 8 |
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Gás de processo |
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Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
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Circuito de gás de processo |
Equipado com gás de três vias O2, Ar, N2 |
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Sistema de controle |
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controle de sistema |
controle de PC |
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modo interativo |
Interface do Windows |
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