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Descrição do Produto

MD-SPV200 Tratamento de superfície de plasma a vácuo

Detalhes do processador de limpeza de plasma da máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV200

Vantagens da limpeza a plasma a vácuo

A limpeza a plasma é um importante método de modificação de superfícies de materiais e tem sido amplamente utilizado em muitos campos.
E alguns métodos de limpeza tradicionais, como limpeza ultrassônica, limpeza UV, etc., têm as seguintes vantagens:
（A） Baixa temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80°C - 50°C. As baixas temperaturas de processamento garantem que não haja efeitos térmicos na superfície da amostra.
（B）Sem poluição durante todo o processo
O limpador de plasma em si é um dispositivo muito ecológico que não causa poluição e não causa poluição durante o processo de tratamento.
（C）Efeito de processamento estável
O efeito do tratamento da limpeza do plasma é muito uniforme e estável, e o efeito de manutenção da amostra após um longo período de tempo é bom.
（D）Pode lidar com amostras de vários formatos
Para amostras de formatos complexos, a limpeza por plasma pode ser a solução certa.

Máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV200 fábrica de processador de limpeza de plasma

Parte da amostra

Máquina de tratamento de superfície de plasma a vácuo MD-SPV200 Fabricação de processador de limpeza de plasma

Especificação

Host de plasma a vácuo (200)
Tamanho do equipamento	1050×1700×1050mm (largura, altura e profundidade)
peso	800Kg
poder de demanda	AC380V,50/60Hz,5wires, 30A
Especificações do gerador de plasma
principal fonte de energia	frequência de rádio	IF
		0 ~ 1000W	0-2000W
Freqüência de potência	13.56MHz	40 KHz
Sistema de vácuo
bomba de vácuo	Bomba unipolar Feiyue VSV100 + bomba Ambas Roots BSJ70
linha de vácuo	Todos os tubos de aço inoxidável e foles de vácuo de alta resistência
material	Liga de alumínio
espessura	25mm
aperto	Selo soldado de nível militar
Dimensões Internas da Cavidade	600×600×600mm(L×A×P)
Tamanho efetivo da placa do eletrodo	472 x 451 mm (L×P)
espaço disponível	35mm
Layout da placa de eletrodo	Placa de eletrodo horizontal
bandeja de trabalho	Um conjunto é padrão e o material é opcional (alumínio, malha de aço)
Área de trabalho	pisos 8
Gás de processo
Faixa de fluxo	0~300SCCM
Circuito de gás de processo	Equipado com gás de três vias O2, Ar, N2
Sistema de controle
controle de sistema	controle de PC
modo interativo	Interface do Windows

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Fornecedor do processador do líquido de limpeza do plasma da máquina do tratamento de superfície do plasma do vácuo MD-SPV200

Aplicações

Embalagem e entrega

Perfil

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução completa de equipamentos de linha de pacotes de front-end e back-end de semicondutores da China!