Equipamento de plasma de vácuo (200) |
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Tamanho do Equipamento |
1050×1700×1050mm (largura, altura e profundidade) |
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peso |
800kg |
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potência demandada |
AC380V,50/60Hz,5fios, 30A |
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Especificações do Gerador de Plasma |
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energia elétrica |
frequência de Rádio |
Se |
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0~1000W |
0-2000w |
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Frequência da corrente alternada |
13,56 MHz |
40 KHz |
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Sistema de vácuo |
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bomba de Vácuo |
Bomba unipolar Feiyue VSV100 + Bomba Roots BSJ70 |
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linha de vácuo |
Todos os tubos de aço inoxidável e mangueiras de vácuo de alta resistência |
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material |
Liga de Alumínio |
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espessura |
25mm |
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hermeticidade |
Selagem soldada de grau militar |
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Dimensões Internas da Câmara |
600×600×600mm (L×A×P) |
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Tamanho efetivo da placa eletroda |
472 X 451mm (L×P) |
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espaço disponível |
35mm |
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Disposição da placa eletroda |
Placa de eletrodo horizontal |
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bandeja de trabalho |
Um conjunto é padrão, e o material é opcional (alumínio, malha de aço) |
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Espaço de trabalho |
8 andares |
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Gás de processo |
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Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
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Circuito de gás de processo |
Equipado com gás trifásico O2, Ar, N2 |
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Sistema de Controle |
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controlo do sistema |
Controle por PC |
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modo interativo |
Interface do Windows |
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