Unidade principal de plasma de vácuo (60) |
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Tamanho do Equipamento |
L 950×W 900×H 1650mm |
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peso |
350 kg |
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Fornecimento de energia sob demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 fios, 16A (tipo aberto total acima de C) |
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Especificações do gerador de plasma |
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poder |
frequência de Rádio |
frequência intermediária |
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0~600W |
0-1000W |
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frequência de fornecimento |
13,56 MHz |
40 K Hz |
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Sistema de vácuo |
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bomba de Vácuo |
Bomba rotativa de duas etapas (bomba de óleo): 40m3/h |
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linha de vácuo |
Linha totalmente de aço inoxidável, bem como mangueiras de vácuo de alta resistência |
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qualidade do Material |
Ligação de alumínio (cavidade de aço inoxidável personalizável) |
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espessura |
25mm |
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hermeticidade |
Selagem por solda de grau militar |
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Dimensões internas da cavidade |
375*375*430mm (largura * altura * profundidade) |
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Tamanho efetivo da placa elétrica |
247*281mm (largura * profundidade) |
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Espaçamento do espaço disponível |
22mm |
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Arranjo de eletrodo |
Layout horizontal, pode ser extração ativa |
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bandejas |
Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de aço) |
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espaço de Trabalho |
6 Camadas |
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gás de processo |
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Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
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Rota do gás de processo |
Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de gás de processo é feito de ferroflon |
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navar |
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SC |
PLC |
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modo interativo |
tela Tátil de 7 polegadas |
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