MDHS-AL8 Máquina de litografia de uma só face de 8" , China MDHS-AL8 Máquina de litografia de uma só face de 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição do Produto

MDHS-AL8 Máquina de litografia de uma só face de 8"

1. Modo de operação: O robô de carregamento carrega automaticamente os wafers da caixa de wafers A-B (reciclável) para o pré-posicionamento

bancada de trabalho, e por meio do ajuste do sistema de posicionamento da câmera e do disco automático de rotação, é alcançado o pré-posicionamento do disco; O robô de carregamento então carrega os discos pré-posicionados para a bancada de alinhamento. Por meio do reconhecimento de imagens do computador e do ajuste do sistema de alinhamento automático, pode-se alcançar o alinhamento automático das figuras na máscara e nos discos. Também é possível completar uma exposição sem alinhar as figuras. Após a exposição automática pelo sistema de superexposição, o robô de descarregamento coloca automaticamente os discos na caixa de discos C-D (reciclável).
2. Área de exposição: 160 × 160mm;
3. Irregularidade da iluminação de exposição: ≤ 3%;
4. Intensidade de exposição: 0~≥ 40mw/cm2 ajustável (ângulo do feixe 2 °);
5. Ângulo do feixe UV: ≤ 3 °;
6. Comprimento de onda central da luz ultravioleta: 365nm;
7. Vida útil da fonte de luz UV: ≥ 20000 horas;
8. Capacidade de separação: 0~≥ 1000um ajustável;
9. Precisão de alinhamento: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Precisão de exposição: Exposição por contato ± 1 μm. Separação de exposição próxima de 20 μm, ângulo do feixe 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Métodos de exposição: contato duro, contato macio e exposição próxima;
12. Modo de exposição: Você pode escolher entre exposição única ou exposição com deslocamento;
13. Sistema de reconhecimento de imagem e rotação automática pré-posicionamento (incluindo mesa de pré-posicionamento): ângulo de rotação Q ≥ ± 180 °, precisão de rotação Q ≤ 0,01 °;
14. Sistema de reconhecimento de imagem e alinhamento automático (incluindo mesa de alinhamento UVW): alcance de alinhamento X Y ≥ ± 5mm, ângulo de rotação Q ≥ ± 3 °, e as duas lentes do microscópio são controladas por duas plataformas elétricas XYZ.
15. Tamanho da máscara: 5 "× 5" e 7" × 7 ";
16. Tamanho do disco: 4 "e 6";
17. Estações de trabalho de caixa de filme superior e inferior: estações duplas;
18. Amortecedor de ar
19. Robô de braço duplo para carregamento e descarregamento: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Número de wafers na caixa de wafer: determinado com base no número de wafers na caixa de wafer do cliente;
21. Levantamento da mesa de posicionamento: Z ≥ ± 25mm;
22. Timing de exposição: ajustável de 0 a 999,9 segundos;
23. Ritmo de produção: >120 peças por hora;
24. Fornecimento de energia: monofásico AC220V 50Hz, consumo de energia ≤ 3KW;
25. Pressão de ar limpo: ≥ 0,4MPa;
26. Grau de vácuo: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Tamanho: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Peso: Aproximadamente 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Esta máquina consiste em uma cabeça de exposição ultravioleta LED, um sistema de reconhecimento de imagem e rotação automática, uma bancada pré-posicionada e sistemas de reconhecimento de imagens como reconhecimento e alinhamento automáticos, bancadas de alinhamento, robôs de carregamento, robôs de descarregamento, suportes e equipamentos de controle elétrico, acessórios de reposição, etc.

Especificações

1. Cabeça de exposição: Uma cabeça de exposição ultravioleta LED (365nm);
2. Bancada de reconhecimento de imagem e pré-alinhamento:
1) 1 câmera (1,3 milhão de pixels)
2) Suporte de posicionamento central
3) 1 conjunto de plataforma rotativa (usando motor de servo)
4) 1 conjunto de sistema de posicionamento
3. Sistema de reconhecimento de imagem e alinhamento automático:
1) 2 câmeras (5 milhões de pixels com alta taxa de quadros)
2) 2 lentes (lente de alta definição 4x)
3) Um computador industrial
4) Um controlador (controlado por PLC)
5) Um conjunto de plataforma de alinhamento (usando motor de passo de 5 fases)
6) Um conjunto de sistema de movimento
7) O dispositivo da placa superior utiliza um motor para elevação e descida
7) O software utiliza a versão mais recente do LabVIEW Professional Edition
4. Braço mecânico de carga e descarga:
1) X Y. Um conjunto de Z de mecanismo de movimento automático
2) Braço robótico de duplo braço (braços de carga e descarga)
5. Mecanismo de fixação da caixa de wafer:
1) AB é o posicionamento fixo da caixa de alimentação
2) CD é a posição fixa da caixa de filme de corte
3) G é a posição fixa da caixa de filme da posição NG
6. Plataforma fixa da câmera:
7. Duas séries de mecanismos de ajuste elétrico Y.Z (controlados por motores de servo)
8. Estante e painel de controle elétrico:
1) 1 computador industrial
2) Um conjunto de PLC;
3) Um conjunto de válvulas solenóides e sistema de controle
4) Um conjunto de instrumentos pneumáticos digitais
5) Um conjunto de painel de controle
8. Peças de reposição:
1) Traqueal: 15 metros
2) 2 válvulas solenóide
3) Bomba de vácuo: 1 unidade
9. Dados técnicos:
1) Um manual do usuário
2) Um certificado de conformidade
10. Adicional
O software do equipamento deve ser equipado com o protocolo de comunicação SECS, e o comprador fornece uma biblioteca dinâmica com a função de conectar-se ao sistema MES do comprador, registrando automaticamente o número do lote do produto, o número do trabalho e o status da operação e carregando-os. Ao mesmo tempo, possui a função de identificar o código QR da máscara, compará-lo com o código QR da máscara no sistema MES e evitar que a máscara errada seja usada.

Embalagem e Entrega