MDHS-AL8 Máquina de litografia unilateral totalmente automática de 8", China MDHS-AL8 Máquina de litografia unilateral totalmente automática de 8", Fabricantes, Fornecedores, Fábrica

Descrição do Produto

MDHS-AL8 8" Máquina de litografia unilateral totalmente automática

1. Modo de trabalho: O robô de carregamento carrega automaticamente wafers da caixa de wafer AB (reciclável) para o pré-posicionamento

bancada de trabalho, e através do ajuste do wafer de posicionamento da câmera e do sistema de rotação automática, consegue-se o pré-posicionamento do wafer; O robô de carregamento então carrega os wafers pré-posicionados na bancada de alinhamento. Através do reconhecimento de imagem do computador e do ajuste automático do sistema de alinhamento, o alinhamento automático dos gráficos na máscara e nos wafers pode ser alcançado. Também é possível completar uma exposição sem alinhar os gráficos. Após a exposição automática pelo sistema de superexposição, o robô de descarregamento coloca automaticamente os wafers na caixa de wafers do CD (reciclável).
2. Área de exposição: 160 × 160 mm;
3. Iluminância de exposição irregular: ≤ 3%;
4. Intensidade de exposição: 0~≥ 40mw/cm2 ajustável (ângulo de feixe 2 °);
5. Ângulo de feixe UV: ≤ 3 °;
6. Comprimento de onda central da luz ultravioleta: 365 nm;
7. Vida útil da fonte de luz UV: ≥ 20000 horas;
8. Capacidade de separação: 0~≥ 1000um ajustável;
9. Precisão do alinhamento: ≤ ± 1.5 μM;
10. Precisão de exposição: Exposição de contato ± 1 μm. Separação de exposição próxima de 20 μM ângulo de feixe 2 ° ≤ ± 2 μM
11. Métodos de exposição: contato forte, contato suave e exposição por proximidade;
12. Modo de exposição: você pode escolher entre exposição única ou exposição offset
13. Reconhecimento de imagem de pré-posicionamento e sistema de rotação automática (incluindo bancada de pré-posicionamento): ângulo de rotação Q ≥ ± 180 °, precisão de rotação Q ≤ 0.01 °;
14. Reconhecimento de imagem e sistema de alinhamento automático (incluindo bancada de alinhamento UVW): faixa de alinhamento XY ≥ ± 5 mm, ângulo de rotação Q ≥ ± 3 ° e duas lentes do microscópio são controladas por duas plataformas elétricas XYZ.
15. Tamanho da máscara: 5" × 5" e 7" × 7";
16. Tamanho do wafer: 4" e 6";
17. Estações de trabalho de caixa de filme superior e inferior: estações de trabalho duplas;
18. Airbag com almofada para os pés
19. Carga e descarga de braço robótico de braço duplo: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Quantidade de wafers na caixa de wafer: determinada com base na quantidade de wafers na caixa de wafer do cliente;
21. Elevação da mesa de posicionamento: Z ≥ ± 25mm;
22. Tempo de exposição: ajustável de 0 a 999.9 segundos;
23. Ritmo de produção:>120 peças por hora;
24. Fonte de alimentação: AC220V monofásico 50Hz, consumo de energia ≤ 3KW;
25. Pressão de ar limpo: ≥ 0.4MPa;
26. Grau de vácuo: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa;
27. Tamanho: 1400*1000*2100mm;
28. Peso: Aproximadamente 400kg

Esta máquina consiste em um cabeçote de exposição ultravioleta LED, um sistema de reconhecimento de imagem e rotação automática, uma bancada pré-posicionada e um sistema de reconhecimento e alinhamento automático picture like, bancadas de alinhamento, robôs de carga, robôs de descarga, racks e controle elétrico Composto por equipamentos , acessórios sobressalentes, etc.

Especificação

1. Cabeça de exposição: Uma cabeça de exposição ultravioleta LED (365nm);
2. Bancada de reconhecimento de imagem e pré-alinhamento:
1) 1 câmera (1.3 milhão de pixels)
2) Dispositivo de posicionamento central
3) 1 conjunto de plataforma giratória (usando servo motor)
4) 1 conjunto de sistema de posicionamento
3. Reconhecimento de imagem e sistema de alinhamento automático:
1) 2 câmeras (alta taxa de quadros de 5 milhões de pixels)
2) 2 lentes (4x lentes de alta definição)
3) Um computador industrial
4) Um controlador (controlado por PLC)
5) Um conjunto de plataforma de alinhamento (usando motor de passo de 5 fases)
6) Um conjunto de sistema esportivo
7) O dispositivo da placa superior adota um motor para levantar e abaixar
7) O software adota a versão mais recente do LabVIEW Professional Edition
4. Braço mecânico de carga e descarga:
1) X Y. Um conjunto de mecanismo de movimento automático Z
2) Braço robótico de braço duplo (braços de carga e descarga)
5. Mecanismo de fixação da caixa de wafer:
1) AB é o posicionamento fixo da caixa de alimentação do filme
2) CD é o posicionamento fixo da caixa de filme de corte
3) G é o posicionamento fixo da caixa de filme de posição NG
6. Plataforma fixa da câmera:
7. Dois conjuntos de mecanismos de ajuste elétrico YZ (controlados por servo motores)
8. Rack e console de controle elétrico:
1) 1 computador industrial
2) Um conjunto de PLC;
3) Um conjunto de válvulas solenóides e sistema de controle
4) Um conjunto de instrumentos pneumáticos digitais
5) Um conjunto de console de controle
8. Acessórios sobressalentes:
1) Traqueal: 15 metros
2) 2 válvulas solenóides
3) Bomba de vácuo: 1 unidade
9. Dados técnicos:
1) Um manual do usuário
2) Um certificado de conformidade
10. Adicional
O software do equipamento precisa ser equipado com protocolo de comunicação SECS, e o comprador fornece uma biblioteca dinâmica com a função de acoplamento ao sistema MES do comprador, registrando automaticamente o número do lote do produto, número do trabalho e status da operação e fazendo upload deles. Ao mesmo tempo, tem a função de identificar o código QR da placa da máscara, comparando-o com o código QR da placa da máscara do sistema MES e evitando que a placa da máscara errada seja retirada.

Embalagem e entrega