Tipo |
MDPS-560 II |
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Câmara Principal de Esputação |
câmara de vácuo em forma de pera, tamanho: Φ560×350mm |
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Câmara de Injeção de Amostra |
tipo cilíndrico e horizontal, tamanho: Φ250mm×420mm |
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Sistema de bombeamento |
conjunto independente de bomba molecular composta e bomba mecânica para câmara principal de esputação e câmara de injeção de amostra. |
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Vácuo Final |
Câmara Principal de Esputação |
≤6,67×10-6Pa (após o forno e desgaseificação) |
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Câmara de Injeção de Amostra |
≤6,67×10-4Pa (após o forno e desgaseificação) |
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Tempo de Vácuo Recuperado |
Câmara Principal de Esputação |
6,6×10-4Pa após 40 min. (bombagem após breve exposição ao ar e preenchida com nitrogênio seco) |
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Câmara de Injeção de Amostra |
6,6×10-3Pa após 40 min. (bombagem após breve exposição ao ar e preenchida com nitrogênio seco) |
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Módulo de Alvo de Magnetron |
5 alvos permanentes de ímã; tamanho Φ60mm (um dos alvos pode esputar material ferromagnético). Todos os alvos podem realizar esputação RF e esputação DC compatível; e a distância entre o alvo e a amostra é ajustável de 40mm a 80mm. |
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Tabela de Revolução de Aquecimento do Substrato com Resfriamento por Água |
Estrutura do Substrato |
Seis estações, forno de aquecimento instalado em uma estação, e as outras são estações de substrato resfriadas por água. |
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Tamanho |
Φ30mm, seis peças. |
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Modo de movimento |
0-360°, recíproco. |
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Aquecimento |
Temperatura máxima 600℃±1℃ |
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Substrato com Polarização Negativa |
-200V |
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Sistema de Circuito de Gás |
Controlador de Fluxo de Massa (MFC) de 2 vias |
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Câmara de Injeção de Amostra |
Câmara de Amostras |
Seis peças de uma vez |
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Anelador |
Temperatura máxima de aquecimento 800℃±1℃ |
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Módulo de Alvo de Reposição |
Limpeza por Reposição |
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Sistema de Envio de Amostras Magnéticas |
Usado para transporte de amostras entre a câmara de sputtering e a câmara de injeção de amostras. |
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Sistema de Controle Computadorizado |
Rotação da amostra, abertura e fechamento do bocal e controle da posição do alvo |
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Espaço Ocupado no Chão |
Conjunto Principal |
2600×900mm2 |
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gabinete elétrico |
700×700mm2 (dois conjuntos) |
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