Alinhador de máscara MDXN-25D, Fabricantes, fornecedores e fábrica de alinhadores de máscara MDXN-25D da China

Descrição do Produto

Este equipamento é uma máquina de litografia de precisão desenvolvida por nossa empresa especificamente para as características de uso de máquinas de litografia em diversas faculdades e instituições de pesquisa. É usado principalmente para o desenvolvimento e produção de circuitos integrados de pequeno e médio porte, componentes semicondutores, dispositivos optoeletrônicos, e dispositivos de ondas acústicas de superfície.
Na premissa de manter os principais indicadores técnicos originais dos equipamentos, otimizamos algumas estruturas e componentes dos equipamentos, reduzimos algumas ações mecânicas desnecessárias e garantimos que os pontos de falha dos equipamentos sejam minimizados ao máximo, e o funcionamento do equipamento também é muito estável e confiável.

Fábrica de alinhadores de máscaras MDXN-25D

Especificação

Principais parâmetros técnicos

1.Tipo de exposição: unilateral.
2.Área de exposição:110×110mm.
3. Iluminação de exposição irregular: ≤±3%.
4. Intensidade de exposição: 0-30mw/cm2 ajustável.
5.Ângulo de feixe UV: ≤3°.
6. comprimento de onda central da luz ultravioleta: 365 nm.
Vida útil da fonte de luz 7.UV: ≥500 horas.
8. Adotando obturador eletrônico.
9. Resolução de exposição: 1 μm;
10. Faixa de digitalização microscópica: X: ± 15 mm Y: ± 15 mm;
11. Faixa de alinhamento: ajuste X, Y ± 4 mm; ajuste de direção Q ± 3 °;
12. Precisão de gravação: 1 μ A precisão da "versão" e do "chip" do usuário deve estar em conformidade com os regulamentos nacionais,
e o ambiente, temperatura, umidade e poeira podem ser estritamente controlados. Fotorresistente positivo importado é usado, e a espessura do fotorresistente uniforme pode serE estritamente controlado. Além disso, os processos dianteiros e traseiros são avançados;
13. Quantidade de separação; 0 ~ 50 μm ajustável;
14. Método de exposição: exposição próxima, que pode alcançar contato duro, contato suave e exposição de contato de micro força; 15.Fórmula de localização quadrada:ar

Embalagem e entrega

Detalhes do alinhador de máscara MDXN-25D

Fornecedor de alinhador de máscara MDXN-25D

Perfil

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução profissional de equipamentos de linha de pacotes front-end e back-end de semicondutores completos da China.