MDXN-25X Máquina de Litografia de Alta Precisão de Um Lado , China MDXN-25X Máquina de Litografia de Alta Precisão de Um Lado Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição do Produto

Este equipamento é uma máquina de litografia de precisão desenvolvida pela nossa empresa especificamente para as características de uso das máquinas de litografia em várias universidades e instituições de pesquisa. É principalmente usado para o desenvolvimento e produção de circuitos integrados pequenos e médios, componentes semicondutores, dispositivos optoeletrônicos e dispositivos de onda acústica de superfície.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Especificações

Parâmetros técnicos principais

1. O dispositivo pode sugar e fixar uma máscara quadrada de 5" x 5", sem requisitos especiais para a espessura da placa (variando de 1 a 3mm).
2. O dispositivo pode ser aplicado a um substrato circular de ф 100mm;
3. Espessura do substrato ≤ 5mm;
4. Iluminação:
Fonte de luz: é utilizada a lâmpada de mercúrio de corrente contínua de alta pressão GCQ350Z.
Alcance de iluminação: ≤ ф 117mm Área de exposição: ф 100mm
dentro de um raio de ф 100mm, a irregularidade da exposição é ≤ ± 3%, e a intensidade da exposição é >6mw/cm² (este indicador é medido utilizando a linha I de fonte UV de 365nm).
5. Este dispositivo utiliza um relé de tempo importado para controlar a obturadora pneumática, garantindo operação precisa e confiável.
6. Esta máquina é uma máquina de exposição por contato que pode alcançar:
7. Exposição por contato duro: Utiliza vácuo de tubulação para obter alto vácuo de contato, vácuo ≤ -0,05MPa
8. Exposição com contato suave: A pressão de contato pode elevar o vácuo para entre -0,02MPa e -0,05MPa.
9. Exposição com contato microscópico: Menor que o contato suave, vácuo ≥ -0,02MPa.
10. Resolução de exposição: A resolução da exposição com contato duro deste dispositivo pode atingir 1 μm ou mais (a precisão do "prato" e do "chip" do usuário deve estar em conformidade com as regulamentações nacionais, e o ambiente, temperatura, umidade e poeira podem ser estritamente controlados. Utiliza-se fotorrevestimento positivo importado, e a espessura uniforme do fotorrevestimento pode ser estritamente controlada. Além disso, os processos anteriores e posteriores são avançados).
11. Alinhamento: O sistema de observação consiste em duas câmeras CCD montadas em dois microscópios de tubo único e conectadas à tela de exibição por meio de um cabo de vídeo.

Embalagem e Entrega

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Perfil da Empresa

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer uma solução profissional completa para linhas de embalagem de semicondutores de frente e trás da China.