1. Energia necessária para o equipamento: Fonte de alimentação principal: 220V, 50HZ, consumo de energia ≤1,5KW;
2. Equipado com uma bomba de vácuo com fonte de alimentação de 220V;
3. Tamanho e peso: Tamanho: 1200(comprimento)×720(largura)×1500(altura). Peso ≤170kg;
4. Coloque o corpo da máquina em uma bancada dedicada;
5. Tipo de exposição: tipo de contato, alinhamento de placa, exposição dupla;
6. Área de exposição: φ100mm;
7. Irregularidade na exposição: ≤±3%;
8. Intensidade de exposição: ≥5mw/cm2;
9.Resolução de exposição: 2μm;
10.Modo de exposição: Exposição simultânea dos dois lados;
11.Faixa de alinhamento: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Precisão de gravação: 2μm;
13.Faixa de rotação: Ajuste de rotação no sentido Q ≤±5°;
14.Sistema microscópico: sistema CCD com duplo campo de visão, lente objetiva 1.6X~10X, sistema de processamento de imagens por computador, monitor LCD de 19";
15.Tamanho da máscara: Capaz de adsorção por vácuo