Máquina de moagem e polimento de precisão MDAM-CMP100/150, a unidade principal e todas as peças de reposição são feitas de materiais altamente resistentes à corrosão. Toda a máquina é resistente à corrosão, estável, desgaste-resistant e anti-ferrugem, adequada para moagem e polimento químico-mecânico de vários materiais semicondutores. A área de trabalho é separada da área de controle de exibição e é controlada digitalmente por meio de um sistema de controle touchscreen. É controlada por CNC, com capacidade de armazenamento e recuperação.
O sistema do dispositivo possui uma função de cronometragem, que pode funcionar continuamente por 10 horas e controlar a velocidade do disco de polimento. O painel de controle é colocado fora da área de trabalho para evitar que a solução abrasiva salpique no painel de controle. Todos os parâmetros do equipamento principal podem ser ajustados na tela sensível ao toque. Os parâmetros do processo do equipamento principal têm funções de armazenamento e recuperação para garantir a consistência e repetibilidade do processo. A amostra de wafer é adsorvida na superfície inferior do suporte por bombeamento a vácuo, equipada com um vácuo sem óleo, e possui função de anti-retorno independente.
O sistema de rotação horizontal da amostra de configuração do suporte possui uma função de oscilação, com um intervalo de oscilação ajustável de 0-100%. A amplitude e a frequência da oscilação podem ser definidas com precisão através do painel de controle. O suporte está equipado com um sistema de propulsão independente para rotação, com um intervalo de velocidade ajustável de 0-120rpm. Este design funcional garante um polimento completo em oscilação da amostra durante o processo de lixamento e polimento, melhorando significativamente a capacidade e eficiência de polimento do equipamento.
O suporte está equipado com uma mesa de monitoramento digital de espessura, com uma precisão de monitoramento de 1 μm. A pressão do suporte sobre a amostra de wafer é continuamente ajustável, com um intervalo de pressão de 0-3,5kg e uma precisão de 2g/cm², além de estar equipado com um dispositivo de medição de pressão.
A operação do disco de moagem e polimento é controlada pelo motor principal, e a velocidade do disco pode ser ajustada de 0 a 120 rotações por minuto. Este intervalo de variação de velocidade garante eficazmente a velocidade de moagem e polimento de amostras de diferentes durezas e tamanhos de materiais, alcançando assim indicadores de processo mais elevados. A substituição dos discos de moagem e polimento é simples e rápida, com discos embutidos que permitem à máquina transitar rapidamente dos processos de moagem para polimento, reduzindo significativamente o tempo de processo. Além disso, o disco de moagem é equipado com um bloco de reparo do disco para garantir que o disco de moagem tenha uma boa planicidade.