Item |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Tamanho do Produto |
≤6 polegadas |
≤8 polegadas |
≤8 polegadas |
||
Fonte de potência RF |
0-300W/500W/1000W Ajustável, ajuste automático |
||||
Bomba Molecular |
-620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
Antisséptico620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
|||
Bomba Foreline |
Bomba mecânica/bomba seca |
Bomba Seca |
|||
Pressão do processo |
Pressão não controlada/0-1Torr pressão controlada |
||||
Tipo de gás |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Até 9 canais, sem gases corrosivos e tóxicos) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Até 9 canais) |
|||
fogão a gás |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom |
||||
LoadLock |
Sim\/Não |
Sim |
|||
Amostra tem controle |
10°C~Temperatura da sala/-30°C~100°C/Personalizado |
-30°C~100°C/Personalizado |
|||
Resfriamento a hélio traseiro |
Sim\/Não |
Sim |
|||
Revestimento da cavidade de processo |
Sim\/Não |
Sim |
|||
Controle de temperatura da parede da cavidade |
Não/Temperatura da sala~60/120°C |
Temperatura da sala-60/120°C |
|||
Sistema de Controle |
Automático/personalizado |
||||
Material de gravação |
À base de silício: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiais magnéticos/ligas Material metálico: Ni/Cr/Al/Au. Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/Filme orgânico. |
À base de silício: Si/SiO2/SiNx. III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (nota 3): CdTe. Materiais magnéticos/ligas Material metálico: Ni/Cr/A1/Au. Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico. |
Adequado para dispositivos de microondas, dispositivos de potência, etc.
A máquina Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) é uma peça de tecnologia de ponta que pode gravar e analisar vários tipos de materiais com precisão incrível. Esta máquina foi projetada para uso em várias indústrias onde a microfabricação ou gravação é necessária regularmente. Ela é feita de materiais de alta qualidade que a tornam durável, confiável e capaz de produzir excelentes resultados.
Equipada com um gerador de plasma RF, é eficaz. O sistema RIE usa uma acoplamento indutivo para gerar plasma a partir do gás de alimentação. Essa técnica cria um plasma de alta densidade que aumenta a taxa de gravação associada ao produto. O processo de gravação da máquina RIE é eficaz, preciso e altamente controlável, permitindo que uma profundidade específica seja alcançada. Essa característica a torna uma ótima escolha para trabalhos de pesquisa ou industrial.
A máquina tem uma gama ampla, incluindo microeletrônica, fabricação de MEMS e fabricação de semicondutores. Esta máquina desempenha um papel importante na gravação e micromachinação de materiais semicondutores, como silício, arseneto de gálio e germânio na indústria de semicondutores. O dispositivo Minder-High-tech RIE também foi estabelecido na indústria de MEMS para fabricar materiais suaves e duros, como poliimida, dióxido de silício e nitreto de silício. Além disso, está disponível para análise de falhas em indústrias relacionadas a serviços e produtos eletrônicos.
Inclui recursos que variam e facilitam o uso. É um software amigável que fornece ao operador controle total sobre os parâmetros de gravação utilizados no dispositivo. As configurações da máquina são salvas na memória interna, podendo armazenar mais de 100 conjuntos de configurações. Ele possui uma tela sensível ao toque que permite ao operador ajustar parâmetros como fluxo de gás, densidade de potência e pressão. A máquina Minder-High-tech RIE também possui um recurso de controle de temperatura que garante que os materiais sejam gravados na temperatura correta, evitando danos a eles.
Perfeito para empresas que precisam de uma máquina confiável e eficiente que possa fornecer resultados precisos e exatos. Este dispositivo foi projetado com tecnologia de alto nível e tem um desempenho muito bom. Sua versatilidade e recursos amigáveis ao usuário tornam-no uma excelente escolha para aplicações de pesquisa e indústria em diferentes setores.
Ele também possui um sistema eficiente de análise de falhas que permite à máquina detectar e corrigir qualquer problema mecânico o mais rápido possível. Este sistema garante que a máquina RIE mantenha alta qualidade e confiabilidade ao longo de seu ciclo de vida. Para qualquer indústria que exija gravação ou microfabricação precisa e eficiente, a máquina RIE Minder-High-tech é a solução perfeita.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved