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Sistema de Etching por Íons Reativos (RIE) Máquina RIE Análise de Falhas

Descrição do Produto
Sistema de etching de íons reativos
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Aplicação
Camada de passivação: SiO2, SiNx
Silício traseiro
Camada adesiva: TaN
Furo através: W
Recurso
1. Etching de camada de passivação com ou sem furos;
2. Gravação da camada adesiva;
3. Gravação de silício traseiro
Especificações
Configuração do projeto e diagrama da estrutura da máquina
Item
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Tamanho do Produto
≤6 polegadas
≤8 polegadas
≤8 polegadas


Fonte de potência RF
0-300W/500W/1000W Ajustável, ajuste automático


Bomba Molecular
-620(L/s)/1300(L/s)/Custom

Antisséptico620(L/s)/1300(L/s)/Custom

Bomba Foreline
Bomba mecânica/bomba seca

Bomba Seca

Pressão do processo
Pressão não controlada/0-1Torr pressão controlada


Tipo de gás
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Custom
(Até 9 canais, sem gases corrosivos e tóxicos)

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Até 9 canais)

fogão a gás
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Sim\/Não

Sim

Amostra tem controle
10°C~Temperatura da sala/-30°C~100°C/Personalizado

-30°C~100°C/Personalizado

Resfriamento a hélio traseiro
Sim\/Não

Sim

Revestimento da cavidade de processo
Sim\/Não

Sim

Controle de temperatura da parede da cavidade
Não/Temperatura da sala~60/120°C

Temperatura da sala-60/120°C

Sistema de Controle
Automático/personalizado


Material de gravação
À base de silício: Si/SiO2/SiNx.
IV-IV: SiC
Materiais magnéticos/ligas
Material metálico: Ni/Cr/Al/Au.
Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/Filme orgânico.

À base de silício: Si/SiO2/SiNx.
III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN.
IV-IV: SiC
II-VI (nota 3): CdTe.
Materiais magnéticos/ligas
Material metálico: Ni/Cr/A1/Au.
Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico.

1. Evitar que partículas voem
2. Nó mínimo que pode ser processado: 14nm:
3. Taxa de etching de SiO2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Rugosidade da superfície etchada: 5. Suporte para camada de passivação, camada de adesão e etching de silício traseiro;
6. Razão de seleção de Cu/Al: >50
7. Máquina tudo-em-um LxPxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Suporte para execução com um clique
Resultado do processo

Etching de material à base de silício

Materiais à base de silício, padrões de nano-impressão, matriz
padrões e gravação de lentes
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

Gravação a temperatura ambiente de InP

Gravação de dispositivos à base de InP usados em comunicação óptica, incluindo estruturas de guia de onda, estrutura de cavidade ressonante.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Gravação de materiais SiC

Adequado para dispositivos de microondas, dispositivos de potência, etc.


Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Esputeração física, gravação de materiais orgânicos

Aplica-se à gravação de materiais difíceis de gravar, como alguns metais (como Ni/Cr) e cerâmicas, e o
padrão de gravação.
Usado para gravação e remoção de compostos orgânicos, como resistente à luz (PR)/PMMA/HDMS/polimero
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Exibição dos resultados da análise de falhas
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Detalhes do Produto
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Embalagem e Entrega
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máquina de solda
Perfil da Empresa

A máquina Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) é uma peça de tecnologia de ponta que pode gravar e analisar vários tipos de materiais com precisão incrível. Esta máquina foi projetada para uso em várias indústrias onde a microfabricação ou gravação é necessária regularmente. Ela é feita de materiais de alta qualidade que a tornam durável, confiável e capaz de produzir excelentes resultados.

 

Equipada com um gerador de plasma RF, é eficaz. O sistema RIE usa uma acoplamento indutivo para gerar plasma a partir do gás de alimentação. Essa técnica cria um plasma de alta densidade que aumenta a taxa de gravação associada ao produto. O processo de gravação da máquina RIE é eficaz, preciso e altamente controlável, permitindo que uma profundidade específica seja alcançada. Essa característica a torna uma ótima escolha para trabalhos de pesquisa ou industrial.

 

A máquina tem uma gama ampla, incluindo microeletrônica, fabricação de MEMS e fabricação de semicondutores. Esta máquina desempenha um papel importante na gravação e micromachinação de materiais semicondutores, como silício, arseneto de gálio e germânio na indústria de semicondutores. O dispositivo Minder-High-tech RIE também foi estabelecido na indústria de MEMS para fabricar materiais suaves e duros, como poliimida, dióxido de silício e nitreto de silício. Além disso, está disponível para análise de falhas em indústrias relacionadas a serviços e produtos eletrônicos.

 

Inclui recursos que variam e facilitam o uso. É um software amigável que fornece ao operador controle total sobre os parâmetros de gravação utilizados no dispositivo. As configurações da máquina são salvas na memória interna, podendo armazenar mais de 100 conjuntos de configurações. Ele possui uma tela sensível ao toque que permite ao operador ajustar parâmetros como fluxo de gás, densidade de potência e pressão. A máquina Minder-High-tech RIE também possui um recurso de controle de temperatura que garante que os materiais sejam gravados na temperatura correta, evitando danos a eles.

 

Perfeito para empresas que precisam de uma máquina confiável e eficiente que possa fornecer resultados precisos e exatos. Este dispositivo foi projetado com tecnologia de alto nível e tem um desempenho muito bom. Sua versatilidade e recursos amigáveis ao usuário tornam-no uma excelente escolha para aplicações de pesquisa e indústria em diferentes setores.

 

Ele também possui um sistema eficiente de análise de falhas que permite à máquina detectar e corrigir qualquer problema mecânico o mais rápido possível. Este sistema garante que a máquina RIE mantenha alta qualidade e confiabilidade ao longo de seu ciclo de vida. Para qualquer indústria que exija gravação ou microfabricação precisa e eficiente, a máquina RIE Minder-High-tech é a solução perfeita.


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