Empresa: Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

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  • Sistema de gravação de íons reativos Máquina RIE Análise de falha RIE
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Sistema de gravação de íons reativos Máquina RIE Análise de falha RIE

Descrição do Produto 
Sistema de gravação de íons reativos
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fornecedor de análise de falhas
Aplicação
Camada de passivação: SiO2, SiNx
Silício traseiro
Camada adesiva: TaN
Através do furo: W
Característica
1. Gravura da camada de passivação com ou sem furos;  
2. Gravura da camada adesiva;  
3. Gravura de silicone nas costas
Especificação
Configuração do projeto e diagrama da estrutura da máquina
item
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Tamanho do produto
≤6 polegadas
≤8 polegadas
≤8 polegadas


Fonte de energia RF
0-300W/500W/1000W ajustável, correspondência automática


Bomba molecular
-/620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado

Antisséptico620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado

Bomba Foreline
Bomba mecânica/bomba seca

Bomba seca

Pressão do processo
Pressão não controlada/pressão controlada 0-1Torr


Tipo de gás
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Personalizado
(Até 9 canais, sem gases corrosivos e tóxicos) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Fogão a gás
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


Bloqueio de carga
Sim / Não

Sim

Exemplo de controle de tem
10°C~Temperatura ambiente/-30°C~100°C/Personalizado

-30°C~100°C /Personalizado

Resfriamento traseiro com hélio
Sim / Não

Sim

Revestimento de cavidade de processo
Sim / Não

Sim

Controle de temperatura da parede da cavidade
Não/Temperatura ambiente~60/120°C

Temperatura ambiente-60/120°C

Sistema de controle
Automático/personalizado


Material de gravação
À base de silício:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Materiais magnéticos/materiais de liga
Material metálico: Ni/Cr/Al/Au. 
Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico. 

À base de silício: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Materiais magnéticos/materiais de liga
Material metálico: Ni/Cr/A1/Au. 
Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico. 

1. Evite que os chips voem
2. Nó mínimo que pode ser processado: 14nm:
3. Taxa de gravação SiO2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Rugosidade da superfície gravada:5. Camada de passivação de suporte, camada de adesão e gravação de silicone posterior;
6. Razão de seleção de Cu/Al:>50
7. Máquina multifuncional CxLxA: 1300mmX750mmX950mm
8. Suporta execução com um clique
Resultado do processo

Gravura de material à base de silício

Materiais à base de silício, padrões de nanoimpressão, array
padrões e gravação de padrão de lente
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fábrica de análise de falhas

Gravura em temperatura normal InP

Gravação de padrões de dispositivos baseados em InP usados ​​em comunicação óptica, incluindo estrutura de guia de ondas e estrutura de cavidade ressonante.
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fornecedor de análise de falhas

Gravação de material SiC

Adequado para dispositivos de microondas, dispositivos de energia, etc.


Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Detalhes de análise de falhas

Sputtering físico, corrosão Material orgânico

É aplicado ao ataque de materiais difíceis de gravar, como alguns metais (como Ni/Cr) e cerâmica, e o
tching padronizado.
É usado para gravação e remoção de compostos orgânicos como fotorresiste (PR)/PMMA/HDMS/polímero
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fábrica de análise de falhas
Exibição dos resultados da análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos Máquina RIE RIE Fabricação de análise de falhas
Detalhes do produto 
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Detalhes de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos Máquina RIE RIE Fabricação de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fornecedor de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fábrica de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos Máquina RIE RIE Fabricação de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fábrica de análise de falhas
Embalagem e entrega 
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Fábrica de análise de falhas
Sistema de gravação de íons reativos RIE máquina RIE Detalhes de análise de falhas
máquina de solda
Perfil

A máquina de gravação de íons reativos (RIE) da Minder-High-tech é uma peça de tecnologia de última geração que pode gravar e analisar vários tipos de materiais com incrível precisão. Esta máquina foi projetada para uso em vários setores onde a microfabricação ou a gravação são necessárias regularmente. É feito de materiais de alta qualidade que o tornam durável, confiável e capaz de produzir excelentes resultados. 

 

Equipado com um gerador de plasma RF é eficaz. O sistema RIE usa um acoplamento indutivo para produzir plasma a partir da gasolina de alimentação. Esta técnica cria um plasma de alta densidade que aumenta a taxa de corrosão associada ao produto. O processo de gravação da máquina RIE é eficaz, preciso e altamente controlável, permitindo que uma profundidade específica seja alcançada. Esse recurso é único e é uma ótima opção para trabalhos de pesquisa ou indústria. 

 

A máquina possui uma ampla variedade, incluindo microeletrônica, fabricação de MEMS e fabricação de semicondutores. Esta máquina desempenha um papel importante na gravação e microusinagem de materiais semicondutores como silício, arseneto de gálio e germânio na indústria de semicondutores. O dispositivo RIE Minder-High-tech também foi estabelecido na indústria MEMS para a fabricação de materiais macios e duros como poliimida, dióxido de silício e nitreto de silício. Além disso, é acessível para análise de falhas em indústrias associadas a serviços e produtos eletrônicos. 

 

Inclui recursos diversos que facilitam a utilização. É um software de fácil utilização que fornece ao operador controle total sobre os parâmetros de gravação utilizados no dispositivo. As configurações da máquina são salvas em sua memória interna, podendo armazenar mais de 100 conjuntos de configurações. Sua tela possui um toque que permite ao operador definir parâmetros como movimento do gás, espessura de potência e pressão. A máquina RIE Minder-High-tech também possui um recurso de controle de temperatura que garante que os materiais sejam gravados na temperatura certa e evita danos a eles. 

 

Perfeito para empresas que exigem uma máquina confiável e eficiente que pode fornecer resultados precisos e precisos. Este dispositivo foi projetado com tecnologia de ponta e seu nível é muito alto. Sua versatilidade e recursos fáceis de usar fazem dele uma escolha muito boa para pesquisas e aplicações industriais em diferentes setores. 

 

Também possui um eficiente sistema de análise de falhas que permite à máquina detectar e corrigir quaisquer problemas mecânicos o mais rápido possível. Este sistema garante que a máquina RIE mantenha alta qualidade e confiabilidade durante todo o seu ciclo de vida. Para qualquer indústria que exija gravação ou microfabricação precisa e eficiente, a máquina RIE da Minder-High-tech é a solução perfeita.


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