item | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Tamanho do produto | ≤6 polegadas | ≤8 polegadas | ≤8 polegadas | ||
Fonte de energia RF | 0-300W/500W/1000W ajustável, correspondência automática | ||||
Bomba molecular | -/620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado | Antisséptico620(L/s)/1300(L/s)/Personalizado | |||
Bomba Foreline | Bomba mecânica/bomba seca | Bomba seca | |||
Pressão do processo | Pressão não controlada/pressão controlada 0-1Torr | ||||
Tipo de gás | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Personalizado (Até 9 canais, sem gases corrosivos e tóxicos) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Fogão a gás | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Bloqueio de carga | Sim / Não | Sim | |||
Exemplo de controle de tem | 10°C~Temperatura ambiente/-30°C~100°C/Personalizado | -30°C~100°C /Personalizado | |||
Resfriamento traseiro com hélio | Sim / Não | Sim | |||
Revestimento de cavidade de processo | Sim / Não | Sim | |||
Controle de temperatura da parede da cavidade | Não/Temperatura ambiente~60/120°C | Temperatura ambiente-60/120°C | |||
Sistema de controle | Automático/personalizado | ||||
Material de gravação | À base de silício:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiais magnéticos/materiais de liga Material metálico: Ni/Cr/Al/Au. Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico. | À base de silício: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Materiais magnéticos/materiais de liga Material metálico: Ni/Cr/A1/Au. Material orgânico: PR/PMMA/HDMS/filme orgânico. |
Adequado para dispositivos de microondas, dispositivos de energia, etc.
A máquina de gravação de íons reativos (RIE) da Minder-High-tech é uma peça de tecnologia de última geração que pode gravar e analisar vários tipos de materiais com incrível precisão. Esta máquina foi projetada para uso em vários setores onde a microfabricação ou a gravação são necessárias regularmente. É feito de materiais de alta qualidade que o tornam durável, confiável e capaz de produzir excelentes resultados.
Equipado com um gerador de plasma RF é eficaz. O sistema RIE usa um acoplamento indutivo para produzir plasma a partir da gasolina de alimentação. Esta técnica cria um plasma de alta densidade que aumenta a taxa de corrosão associada ao produto. O processo de gravação da máquina RIE é eficaz, preciso e altamente controlável, permitindo que uma profundidade específica seja alcançada. Esse recurso é único e é uma ótima opção para trabalhos de pesquisa ou indústria.
A máquina possui uma ampla variedade, incluindo microeletrônica, fabricação de MEMS e fabricação de semicondutores. Esta máquina desempenha um papel importante na gravação e microusinagem de materiais semicondutores como silício, arseneto de gálio e germânio na indústria de semicondutores. O dispositivo RIE Minder-High-tech também foi estabelecido na indústria MEMS para a fabricação de materiais macios e duros como poliimida, dióxido de silício e nitreto de silício. Além disso, é acessível para análise de falhas em indústrias associadas a serviços e produtos eletrônicos.
Inclui recursos diversos que facilitam a utilização. É um software de fácil utilização que fornece ao operador controle total sobre os parâmetros de gravação utilizados no dispositivo. As configurações da máquina são salvas em sua memória interna, podendo armazenar mais de 100 conjuntos de configurações. Sua tela possui um toque que permite ao operador definir parâmetros como movimento do gás, espessura de potência e pressão. A máquina RIE Minder-High-tech também possui um recurso de controle de temperatura que garante que os materiais sejam gravados na temperatura certa e evita danos a eles.
Perfeito para empresas que exigem uma máquina confiável e eficiente que pode fornecer resultados precisos e precisos. Este dispositivo foi projetado com tecnologia de ponta e seu nível é muito alto. Sua versatilidade e recursos fáceis de usar fazem dele uma escolha muito boa para pesquisas e aplicações industriais em diferentes setores.
Também possui um eficiente sistema de análise de falhas que permite à máquina detectar e corrigir quaisquer problemas mecânicos o mais rápido possível. Este sistema garante que a máquina RIE mantenha alta qualidade e confiabilidade durante todo o seu ciclo de vida. Para qualquer indústria que exija gravação ou microfabricação precisa e eficiente, a máquina RIE da Minder-High-tech é a solução perfeita.
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