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Elipsômetro Espectroscópico

Descrição do Produto

Elipsômetro Espectroscópico

O elipsômetro espectral pode completar testes automáticos rápidos e multipontos, e pode testar a uniformidade da amostra com um clique. O polarizador, analisador e compensador do produto estão equipados com dispositivos de bloqueio de posição de alta precisão com função de compensação de banda, o que aumenta a precisão e estabilidade do sistema. Utilizando uma arquitetura de fibra dupla para melhorar a eficiência de coleta de luz, espectros suficientes podem ser coletados de superfícies polidas por ácido ou frentes piramidais convencionais para teste e análise. Ele também possui funções básicas como autofoco, seleção de intensidade de luz e compensação de fase.
Projetado para análise de alta precisão e alta eficiência das propriedades ópticas dos materiais. Ele pode realizar automaticamente, rapidamente e
medir com precisão o índice de refração, coeficiente de extinção e espessura do filme dos materiais. É adequado para as necessidades de caracterização de filmes finos e materiais em pesquisas científicas, semicondutores, fotovoltaico, revestimentos ópticos, painéis de exibição e outros campos.

Objeto de medição:

Revestimento óptico: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Exibição: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), eletrodos(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaico: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Semiconductor: Photoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Outros: OCD, materiais 2-D, heterojunção de Van der Waals e dispositivo...

Função do Produto:

Medição do índice de refração: Meça com precisão o índice de refração dos materiais em diferentes comprimentos de onda, fornecendo dados-chave para design óptico e pesquisa de materiais.
Medição do coeficiente de extinção: Analise as características de absorção de luz dos materiais para ajudar a otimizar o desempenho de dispositivos optoeletrônicos.
Medição da espessura do filme: Suporta detecção de espessura de filmes de nanômetro a nível de micrômetro com alta resolução e boa repetibilidade.
Teste automático rápido: Com função de varredura automática multiponto, a velocidade de medição atinge 1 segundo/ponto, o que aumenta significativamente a eficiência dos testes em lote.

Princípio de medição:

O princípio da medição por elipsometria é baseado na mudança do estado de polarização da luz refletida antes e depois da superfície do meio, para obter informações sobre as propriedades ópticas e estruturais.
O campo elétrico do feixe incidente é decomposto em duas direções verticais, com a luz p paralela à vibração da luz
onda, s luz perpendicular à vibração da onda eletromagnética. As amplitudes e fases da luz p e s mudarão quando o feixe for refletido na superfície do meio.

A correlação entre as características físicas do meio e a mudança no estado de polarização.

Ambiente de trabalho do instrumento:

Potência: 220VAC+10%
Temperatura ambiente: temperatura ambiente (10-30)℃
Umidade relativa: (20-80)% UR

Espectrômetro:

Unidade de detecção: detector CCD retroiluminado rápido de 2048 pixels
Parâmetros detalhados:
1. faixa espectral superior a 350nm-1000nm
2. luz parasita<0,02%@400nm
3. relação sinal-ruído 4800
4. faixa dinâmica 50000:1
5. trajetória de luz holográfica
6. resolução digital 16-bit
7. velocidade de leitura >400kHz
8. velocidade de transmissão de dados 600MB/s
9. tempo mínimo de integração/ajuste do passo 6 us/1us
10. atraso do gatilho externo 95ns+/-20ns
11. interface de computador USB4.1C/2.0
12. sistema operacional Win 7/in 8/Win 10
média QE na região UV CCD com iluminação traseira, média QE ≥75% Sistema de resfriamento micro TE, temperatura após resfriamento é 30°C
inferior à temperatura ambiente.
Método de integração controlado por software com configuração automática do tempo de integração, pode alcançar o melhor

Sistema de fonte de luz:

Fonte de luz: lâmpada halógena com bulbo de quartzo, faixa de comprimento de onda 350nm-2000nm, sem degradação, vida útil superior a 50000 horas.
Unidade de alimentação independente para lâmpada halógena, tensão 4.9vd

Estágio com função de foco automático:

Mova a amostra para a melhor posição de medição com a função de foco automático. Curso: 100mm
Precisão: 0,0005mm. Limitação de localização com limites positivos e negativos e sensor de posição zero; a posição inicial, posição final e o comprimento do passo da função de foco automático podem ser definidos no software usando o método de regressão gaussiana; defina o tempo de integração especificado e colete a intensidade do método Focus
Estrutura do produto
Especificações
Sistema óptico:
Ângulo de incidência
65°
Desvio do feixe
< 0.3°
Parâmetros de medição
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizadores
Glan-Thompson
Material
a-BBO
Compensador
atraso de fase de um-quarto de onda, hiper acrômico
Seleção de intensidade
Elemento de seleção de densidade óptica linear. Garante boa relação sinal-ruído no processo de medição, melhora a precisão dos dados,
evita que a intensidade da luz seja saturada ou muito fraca, reduzindo o índice de sinal-ruído e a precisão
Design óptico
fibra dupla conduz a luz da lâmpada ao espectrômetro através de elementos de polarização; trajeto de luz estável, conveniente para trocar lâmpadas
Fibra
passivação anti-UV; NA=0.22; abertura clara 600um
Ponto de luz microscópico
diâmetro ≤200um, para distinguir entre a luz útil refletida pela superfície frontal e a luz inútil refletida pela
superfície inferior, fácil de desmontar
Slit
1 50um, para distinguir entre a luz útil refletida da superfície frontal e a luz inútil refletida da parte inferior
superfície
Tabela de seleção de parâmetros básicos:
Faixa espectral
350-1000nm
C
Visível
210-1000nm
UC
UV-Visível
210-1700nm
Não
UV-Vis-NIR
Compensador óptico
Rc
Compensador único
RC2
C2
Compensador dual
Faixa espectral
X-Y
M
Maior curso até 230mm
X-R
R
Maior diâmetro até 300mm
Embalagem e Entrega
Perfil da Empresa
Minder-Hightech é representante de vendas e serviço na indústria de equipamentos de produtos eletrônicos e semicondutores. Desde 2014, a empresa está comprometida em fornecer aos clientes Soluções Completas, Superiores e Confiáveis para equipamentos.
Perguntas frequentes
1. Sobre o Preço:
Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:
Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre Pagamento:
Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

4. Sobre Entrega:
Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:
Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:
Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

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