Processamento Térmico Rápido (RTP) semi-automático para wafer semicondutor SlC LED MEMS , China Processamento Térmico Rápido (RTP) semi-automático para wafer semicondutor SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição do Produto

Processamento Térmico Rápido

Fornecer equipamentos RTP confiáveis para semicondutores compostos, SlC, LED e MEMS

Recurso

* Aquecimento por tubo de lâmpada halógena infravermelho, resfriamento usando arrefecimento a ar;
* Controle de temperatura PlD para potência da lâmpada, que pode controlar precisamente o aumento de temperatura, garantindo boa reprodutibilidade e uniformidade térmica;
* A entrada do material é definida na superfície do WAFTER para evitar a formação de pontos frios durante o processo de recristalização e garantir boa uniformidade térmica do produto;
* Podem ser selecionados tanto métodos de tratamento em atmosfera quanto em vácuo, com pré-tratamento e purificação do corpo;
* Dois conjuntos de gases de processo são padrão e podem ser expandidos para até 6 conjuntos de gases de processo;
* O tamanho máximo de uma amostra de silício monocristalino mensurável é de 12 polegadas (300x300MM);
* As três medidas de segurança de proteção contra abertura em temperatura segura, permissão de abertura do controlador de temperatura e proteção de parada de emergência do equipamento são plenamente implementadas para garantir a segurança do instrumento;

Relatório de teste

Coincidência das curvas de 20 graus

20 curvas de controle de temperatura a 850 ℃

Coincidência de 20 curvas de temperatura média

Controle de temperatura a 1250 ℃

Controle de temperatura RTP a 1000 ℃ em processo

Processo a 960 ℃, controlado por pirômetro infravermelho

Dados de processo LED

O RTD Wafer é um sensor de temperatura que utiliza técnicas de processamento especiais para incorporar sensores de temperatura (RTDs) em locais específicos na superfície de um wafer, permitindo a medição em tempo real da temperatura da superfície do wafer.

Medições reais de temperatura em locais específicos no wafer e a distribuição geral de temperatura do wafer podem ser obtidas através do RTD Wafer; Ele também pode ser usado para monitoramento contínuo de mudanças de temperatura transitórias nos wafers durante o processo de tratamento térmico.

Especificações

Embalagem e Entrega

Perfil da Empresa

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução completa para equipamentos de linha de embalagem de semicondutores, tanto no frontend quanto no backend, da China!