Equipamentos para indústria de semicondutores MDLB-MC200 Limpador de fotomáscara, China Equipamentos para indústria de semicondutores MDLB-MC200 Limpador de fotomáscara Fabricantes, Fornecedores, Fábrica

MDLB-MC200

Limpador de fotomáscara

Unidade de limpeza:

A câmara de limpeza é processada com materiais resistentes à corrosão, que têm uma superfície lisa e são fáceis de limpar. Há uma porta de descarga de resíduos na parte inferior da cavidade interna, que utiliza a gravidade para permitir que o líquido residual seja descarregado na tubulação de descarga de resíduos da fábrica. Há uma porta de sucção dentro da cavidade, que pode extrair a atmosfera da cavidade em tempo hábil. Equipado com 3 braços oscilantes automáticos, pode obter limpeza automática.

Tabela de parâmetros de configuração:

Não.	PROJETO	Especificações	Observações
1	Visão geral do equipamento	Nome do dispositivo: Limpador de fotomáscara
		Modelo do equipamento: MDLB-MC200
		Dimensões totais (aproximadamente): 1300 mm (L) * 1000 mm (P) * 1950 mm (A)
		Peso total da máquina (aproximadamente): 300KG
		Altura da mesa cirúrgica: 900 ± 50 mm
		Especificações do tamanho do substrato: adequado para placas de máscara quadradas de 2/4/5/6/8 polegadas
		Fluxo do processo: colocação manual do wafer → limpeza (escova, solução de limpeza → água de alta pressão → água megassônica → água deionizada → secagem com gás nitrogênio) → remoção manual do wafer
		Tipo de equipamento: semiautomático, carga e descarga manual
2	construção de equipamentos	Invólucro: aço inoxidável, liso, resistente à corrosão, fácil de limpar
		Câmara de limpeza: PP, lisa, resistente à corrosão, fácil de limpar
		Pipeline: é utilizado um pipeline de correspondência PU/PFA
		Iluminação de trabalho: iluminação de luz amarela anticorrosiva
		Estilo de abertura da porta: Porta dupla com função de alarme de abertura da porta
		Tela sensível ao toque: tela sensível ao toque colorida de 10 polegadas * 1
		FFU: Classe 100
		Suporte inferior à prova de vazamentos: disponível
3	Servo motor de alta precisão	Quantidade: 1
		Velocidade: -3000~3000rpm	Carga vazia
		Aceleração máxima da rotação do fuso: 3000rpm/S	Carga vazia
		Precisão de velocidade: ± 1 rpm (50 rpm ~ 3000 rpm)
		Resolução de velocidade: 1 rpm
4	Braço oscilante automático	Quantidade: 3
4	Braço oscilante automático	Velocidade do braço oscilante: 1~30 °/S
5	Unidade de limpeza	Limpeza do braço oscilante: 1 canal de água deionizada, 1 canal de gás nitrogênio Braço Megasônico: 1 Megasônico, 1 Água de Alta Pressão Braço da escova: 1 escova, 1 água, 1 solução de limpeza
		Método de limpeza: limpeza automática
		Função de sucção de água deionizada: disponível
		Retrolavagem (água deionizada): 1 via
		Método de fornecimento: Solução de limpeza: Bomba de diafragma Água deionizada: fornecida diretamente pela fábrica
		Tanque de pressão com detecção de nível de líquido
6	Pincel de escova	Quantidade: 1 (com função de autolimpeza)
		Velocidade: até 1000 rpm, velocidade ajustável
		Altura ajustável manualmente
7	Carregar bandeja	Quantidade: 5
		Material: PPS + aço inoxidável
		Tamanho: Adequado para placas de máscara quadradas de 2/4/5/6/8 polegadas
		Método de fixação do substrato: Método de fixação de garra
8	Sistema de controle	Sistema de controle: usando controle PLC
		Programa: 100 grupos, cada grupo consistindo de 100 passos, com um tempo máximo de passo único de 3000.0 segundos Resolução: 0.1S
		O programa pode ser salvo, chamado, modificado e excluído
		Definir permissões de criptografia: para operadores de dispositivos, técnicos, administradores e fabricantes, respectivamente
		Tipo de torre de sinal: vermelho, amarelo, verde 3 cores