Equipamentos da indústria semicondutora MDLB-MC200 Limpa máscara fotomascara

Não.

Projeto

Especificações

Observações

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Visão geral do equipamento

Nome do dispositivo: Limpa-Photomask

Modelo do equipamento: MDLB-MC200

Dimensões totais (aproximadamente): 1300mm (L) * 1000mm (P) * 1950mm (A)

Peso total da máquina (aproximadamente): 300KG

Altura da mesa operacional: 900 ± 50mm

Especificações de tamanho do substrato: adequado para placas de máscara quadradas de 2/4/5/6/8 polegadas

Fluxo de processo: colocação manual de wafer → limpeza (pincel, solução de limpeza → água de alta pressão → água megassônica → água destilada → secagem com gás de nitrogênio) → remoção manual de wafer

Tipo de equipamento: semi-automático, com carga e descarga manuais

2

Construção do equipamento

Carcasa: aço inoxidável, lisa, resistente à corrosão, fácil de limpar

Câmara de limpeza: PP, lisa, resistente à corrosão, fácil de limpar

Encanamento: encanamento de PU/PFA é utilizado

Iluminação de trabalho: iluminação com luz amarela anti-corrosiva

Estilo de abertura da porta: Porta dupla com função de alarme de abertura

Tela sensível ao toque: tela sensível ao toque colorida de 10 polegadas * 1

FFU: Classe 100

Suporte antiderrapante na parte inferior: disponível

3

Motor servo de alta precisão

Quantidade: 1

Velocidade: -3000~3000rpm

Carga útil vazia

Aceleração máxima da rotação do eixo: 3000rpm/S

Carga útil vazia

Precisão de velocidade: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Resolução de velocidade: 1rpm

4

Braço oscilante automático

Quantidade: 3

Velocidade do braço oscilante: 1~30 °/S

5

Unidade de Limpeza

Limpeza do braço oscilante: 1 canal de água ionizada, 1 canal de gás nitrogênio

Braço Megassônico: 1 Megassônico, 1 Água sob Alta Pressão

Braço de escova: 1 escova, 1 água, 1 solução de limpeza

Método de limpeza: limpeza automática

Função de sucção de água desionizada: disponível

Retrolavagem (água desionizada): 1 rota

Método de fornecimento: Solução de limpeza: Bomba de membrana

Água desionizada: fornecida diretamente pela fábrica

Tanque de pressão com detecção de nível líquido

6

Escovar a escova

Quantidade: 1 (com função de auto-limpeza)

Velocidade: até 1000rpm, velocidade ajustável

Altura ajustável manualmente

7

Bandeja de carga

Quantidade: 5

Material: PPS+aço inoxidável

Tamanho: Adequado para placas de máscara quadradas de 2/4/5/6/8 polegadas

Método de fixação do substrato: Método de fixação por garra

8

Sistema de Controle

Sistema de controle: usando controle PLC

Programa: 100 grupos, cada grupo consistindo em 100 etapas, com um tempo máximo de etapa única de 3000,0 segundos

Resolução: 0,1S

O programa pode ser salvo, chamado, modificado e excluído

Definir permissões de criptografia: para operadores de dispositivo, técnicos, administradores e fabricantes, respectivamente

Tipo de torre de sinalização: 3 cores - vermelho, amarelo, verde