Parâmetro técnico | Modo de medição | PSI/VSI/super profundidade de campo/campo brilhante |
Campo de visão de medição único (lente objetiva 20×) | 500*350μm (costura automática) | |
Ajuste de ângulo | ±12° manual | |
Ajuste do eixo Z | 20 mm elétrico + 50 mm manual (mecanismo de ajuste grosso e fino) | |
Faixa de varredura longitudinal | 0-10mm | |
Resolução longitudinal | <0.2nm | |
Repetibilidade da medição da rugosidade longitudinal | 0.01 nm (modo PSI) | |
erro de indicação de altura do degrau medição | <0.75% (modo VSI) | |
Resolução lateral: @550nm | 0.69 μm (lente objetiva 20×) | |
Refletividade da amostra mensurável | 0.1% -100% | |
Tempo de medição | <5s (modo PSI) | |
Função de análise | Função de análise | Medição de altura 3D, análise de rugosidade 3D, medição de dimensão 2D |
Saída de dados 3D | Dados de nuvem de pontos 3D, dados de imagem em escala de cinza, relatório personalizado |
Ampliação objetiva | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Abertura numerica | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Resolução óptica @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Profundidade de foco (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Distância de trabalho (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
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