Parâmetro técnico |
Modo de medição |
PSI/VSI/super profundidade de campo/campo brilhante |
Campo de visão de medição única (lente objetiva 20×) |
500*350μm (montagem automática) |
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Ajuste de ângulo |
±12° manual |
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Ajuste do eixo Z |
20mm elétrico + 50mm manual (mecanismo de ajuste grosso e fino) |
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Faixa de varredura longitudinal |
0-10 mm |
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Resolução longitudinal |
<0.2nm |
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Repetitividade da medição de rugosidade longitudinal |
0.01nm (modo PSI) |
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erro de indicação da altura do degrau medição |
<0.75% (modo VSI) |
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Resolução lateral: @550nm |
0,69μm (lente objetiva 20×) |
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Refletividade mensurável da amostra |
0,1%-100% |
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Tempo de medição |
<5s (modo PSI) |
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Função de análise |
Função de análise |
medição de altura 3D, análise de rugosidade 3D, medição de dimensões 2D |
saída de dados 3D |
dados de nuvem de pontos 3D, dados de imagem em tons de cinza, relatório personalizado |
Aumento do objetivo |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Abertura numérica |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Resolução óptica @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Profundidade de foco (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Distância de trabalho (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
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