Minder-Hightech este un producător de semiconductoare. Semiconductoarele sunt componente esențiale ale multora dintre lucrurile care fac viața modernă, cum ar fi telefoanele mobile și computerele. Acum, există câteva pași în crearea semiconductoarelor, dar primul pas este acela de a crea un model pe o suprafață plată cunoscută sub numele de wafer.
Pentru a reprezenta acest model, depunem o materie specială pe wafer. Această substanță se numește photoresist. Odată ce am pus photoresist-ul, îl expunem la lumină. Sub lumina, o zonă a photoresist-ului se întrebine și devine puternică. Zonele din umbra rămân moale și pot fi șterse.
După obținerea modelului dorit pe wafer, photoresist-ul trebuie eliminat din zonele în care vom efectua prelucrări suplimentare. Este aici că Curător cu Plasma intervine, literar.
Metode bazate pe plasma pentru eliminarea photoresist-ului
Plasma este un stadiu de gaz cu un nivel ridicat de energie, datorită unei sarcini electrice mari aplicate acestuia. Iar acest gaz activat este extrem de util pentru eliminarea fotorezistului de pe suprafața plăcii. Prin intermediul plasmei, fotorezistul poate deveni fragil și curățarea săptădevreme devine mult mai ușoară.
Avem două tehnici diferite folosind plasma pentru eliminarea fotorezistului: etching-ul sec și ashing-ul.
Etching-ul sec: În această tehnică, plasma interacționează efectiv cu fotorezistul. Plasma reacționează cu fotorezistul unde se întâlnesc. Această reacție descompune fotorezistul și îl transformă în gaz. Această substanță gazoasă poate fi ulterior curățată de pe suprafața plăcii, ceea ce duce la expunerea zonelor pe care le necesităm curate și disponibile pentru progres.
Așezarea — Aceasta este un mod diferit de a face lucrurile, în această metodă se folosește o plasmă ne-reactivă pentru fotorezist. Plasma înlătură fotorezistul împrăștiindu-l în bucățele mici. Apoi, aceste bucățele mici pot fi spălate de pe plăcuță. Acest mod de procedare este potrivit și protejează plăcuța în timp ce elimină fotorezistul nepotrivit.
Folosirea plasmei reactive pentru decapajul fotorezistului
Tratare a Suprafeței cu Plasma este un instrument foarte puternic care ne ajută să eliminăm cel mai rezistent fotorezist de pe plăcuță. Plasama este incredibilă în sine, dar cea mai bună parte este că o putem transforma într-un agent super selectiv. Asta înseamnă că poate fi ajustată să reacționeze doar specific cu fotorezist, nu cu alte materiale de sub el.
De exemplu: Dacă avem un model pe placa unde metalul este plasat sub fotorezist, putem folosi un tip de plasma care reacționează doar cu fotorezist. Astfel, putem scufunda fotorezistul fără a dăuna metalului de sub el. Acum, acest lucru este foarte important, deoarece avem nevoie ca toate părțile plăcii să mențină integritatea lor în timpul procesului.
Tehnica Plasma pentru Stripping Fotorezist
Minder-Hightech utilizează tehnologia plasma modernă pentru a elimina fotorezistul de pe plăcile noastre. Acest lucru ne permite să fabricăm semiconductori fără erori, care sunt de înaltă calitate.
Rapid, ajustabil la nevoile tale. Sistemele noastre sunt proiectate să se integreze seamănă în fluxul tău de lucru. Acest lucru înseamnă că putem elimina fotorezistul într-un timp scurt. Și deoarece suntem rapidi, îndeplinim întreaga cerere clienților noștri, oferind produse excelente când au nevoie de ele.
Dar sistemele noastre de plasmă sunt, de asemenea, foarte precise, pe lângă eficiența lor. Ceea ce ne oferă această precizie este posibilitatea de a elimina doar stratul de fotorezist. Tehnologia noastră previne dăunarea tuturor celorlalalte părți ale discului (wafer) în urma procesului nostru, iar nu ne putem permite să facem acest lucru. Această practică metodică devine cu atât mai esențială pentru calitatea semiconductoarelor pe care le producem.
Eliminarea Fotorezistului Indus de Plasmă pe Semiconductori
Deci, într-un cuvânt, plasmă este o super putere care ne permite să scoatem unele straturi de fotorezist de pe suprafața discului într-un mod extrem de eficient. Noi, la Minder-Hightech, aplicăm cea mai recentă și cea mai bună tehnologie de plasmă pentru a produce semiconductori de calitate exact zero-defecte. Când vine vorba de sisteme de plasmă, soluțiile noastre sunt fabricate pentru a echilibra viteza cu precizia, în timp ce rămân foarte eficiente. Acest lucru înseamnă să putem să ne conformăm cerințelor clienților noștri, dar și să livrăm produse de calitate fără eșec. Aceasta contribuie la îmbunătățirea procesului de producție al semiconductorilor pe care îi folosim. eliminare prin plasmă tehnologie care face ca semiconductořii noștri să fie cât mai buni posibil pentru toate tipurile de dispozitive electronice, transformându-le în gadgeți de încredere.