Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți Cot

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

pagină de start
DESPRE NOI
MH Equipment
Soluție
Utilizatori din străinătate
Video
CONTACTAȚI-NE
Acasă> Ștergătoare de discuri
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată
  • Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată

Proces de planarizare mecanică chimică CMP cu precizie ridicată

Obțineți un presupus gratuit
Descriere produs

Precizie Înaltă Echipamente pentru planarizare mecanico-chimică (CMP)

Echipamentul CMP de precizie realizează eliminarea eficientă a materialelor în exces de pe suprafețele plăcuțelor prin efectul sinergic al coroziunii chimice și al polirii mecanice.
Mașinărie multi scop pentru polirea chimică, proiectată special pentru aplicații CMP și polirea stratului care necesită o exactitate geometrică strictă și o calitate de suprafață superioară, putând atinge un nivel sub-nanometric de Ra.
Acest dispozitiv poate efectua un polire precis la nivel de nanometri pe inele individuale, precum și polirea plăcilor subțiri cu diametre de până la 8 inch. În plus, poate fi utilizat și în aplicații de polire ne-tradiționale, cum ar fi polirea suporturilor dure, pregătirea suprafeței Epi și îmbunătățirea reciclării chipurilor.
Pentru a adapta mașinile din seria CDP la diferite materiale și cerințe de proces, tehnicienii personalizează și proiectează șabloane de polire corespunzătoare conform cerințelor tehnice ale utilizatorului, pentru a satisface cu precizie cerințele procesului CMP. Imaginea din stânga arată intervalul unui singur disc cu un diametru de 8 inch.
Pentru a ne asigura măsurarea și controlul precis al plăcilor sau dispozitivelor polite pe mașinile CDP, am dezvoltat un sistem EPD, a cărui aplicație grafică de scaneare CDP personalizată poate funcționa pe laptop-uri. Această aplicație monitorizează și ilustrează grafic procesul de polire, oprit automat odată ce se atinge punctul final.
Prevenirea polirii excesive. Scanearea CDP poate să servească și ca funcție de securitate. Dacă sunt detectate modificări ale oricărui parametru proces monitorizat, Scan CDP va declanșa un alarmă sonică pentru a ajuta la prevenirea polirii excesive. Exemple în acest sens includ schimbarea vitezei suportului de la valoarea presetată. Sistemul EPD va observa această situație, deoarece nivelul de frecare între plaja și materialul polit se va modifica din cauza oricăror schimbări ale vitezei suportului, ceea ce ar putea să compromită planarizarea cu succes a plăcii/C. La acest punct, sistemul EPD va declanșa o alarmă auditivă înainte de a scoate fixtură din suprafața plajei sau poate fi setat pe oprire automată.
Sistemul ACP poate fi utilizat mai bine într-o gamă largă de aplicații, iar graficul arată rezultatele testelor procesului CMP pentru oxida de siliciu, cupru, nitrid de siliciu, aluminiu-cupru, siliciu-germaniu și tungsten.
Graficul arată că după procesul CMP, WTWNU poate atinge 2,82%.
Aplicare
Planarizarea plăcilor de siliciu
Planarizarea compuselor II-V
Planarizare oxide
Aplatizarea substratului materialului infraroșu
Planarizare a substratelor din safir, nitru de galii și carburi de siliciu, planarizare a substratelor EPI
Subțierea plăcilor SOS și SOI la sub 20 de mici metri
Ingineria inversă ierarhică sau aplicații FA
Specificitați
Sursă de Alimentare
220v 10A
Dimensiunea plăcii
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Diametru disc de lucru
520mm, 780mm
Viteza discului de lucru
0-120rpm
Viteza suportului
0-120rpm
Frecvența oscilației suportului
0-30spm
Presiunea din spatele plăcii
0-150psi
Presiunea la punctul central al plăcii
0-50psi
Timp cronometrat
0-10 h
Canal de alimentare
≥2
Viteza de alimentare
0-150ml/min
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Minder-Hightech este reprezentant de vânzări și servicii în echipamente pentru industria semiconductoarelor și a produselor electronice. Din 2014, compania este angajată să ofere clienților Soluții Superioare, De încredere și Complexe pentru echipamente.
Întrebări frecvente
1. Despre preț:
Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:
Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre Plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească produsele. După ce
echipamentul este gata și plătiți restul, vom expedia.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

Mai multe produse

Cerere de informații

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de Confidențialitate

Cerere de informații Email WhatsApp Top
×

Pune-te în contact