Dimensiunea plăcii
|
placă de 4”~8”
|
Grosimea plăcii
|
100~750 microni
|
Tipul plăcii
|
Si, SiC, GaN sau alte materiale
|
Tip film
|
Film albastru, film UV
Lățime: 230 ~ 300 mm Lungime: 100 m Grosime: 0,05 ~ 0,2 mm |
Inel de transport pentru placi
|
6”, 8” DISCO
|
Metodă de încărcare și descărcare
|
Plasarea și eliminarea manuală a plăcii/inelului
|
Precizie de poziționare a filmului
|
±0.5mm
Plăci standard pentru wafer-uri de 6” și 8”, concepute pentru wafer-uri de 6” și 8” |
pompă de vid
|
Minder-Hightech
|
Control antistatic
|
Ventil de deionizare
|
Unitate de control
|
Bazat pe control PLC, cu ecran tactil de 10”
|
Protecție pentru siguranță
|
Echipat cu protecție prin cortină de lumină și buton de oprire de urgență
|
Tensiune de alimentare
|
Monofază AC 220V, 16A
|
Aer comprimat
|
0.45~0.6MPa, debit 70L/min
|
Corp mașină
|
Corp metalic sprâyat cu plastic alb
|
Volum
|
850mm (lățime)*1750mm (adâncime)*1970mm (înălțime)
|
Greutate netă
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved