CERERE DESCUM eliminare photoresist Dispozitiv de Eliminare a Photoresist cu Plasma Sec ICP , China CERERE DESCUM eliminare photoresist Dispozitiv de Eliminare a Photoresist cu Plasma Sec ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produs

ICP Plasma Secă Photoresist Scoateră Mașină

Mașina de plasma secă ICP pentru scoaterea photoresistului este utilizată în principal pentru eliminarea polimerelor, ASHING, DESCUM, scoaterea stratului de photoresist după implantare ionică și eliminarea reziduurilor de pe suprafață. Caverna este potrivită pentru probe de 4-8 inch-uri, cu 1-2 bucăți procesate într-o singură etapă.

Spalare
Eliminarea polimerului
Scoaterea secă a stratului de hard mask
Scoaterea photoresistului după implantare ionică
Eliminarea fotorezistenței în procesul BAW/SAW
Curățare uscată a stratului de film grafic antireflectant
Eliminarea reziduilor de pe suprafață
Curățare a suprafeței după etalaj
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

Specificitați

Plasma			Rf	Rf
Putere	ICP	1000W	1000W
Putere		BIAS	600w(opțiune)	600w(opțiune)
Zonă de aplicare			4~8寸	4~8寸
Numărul de felii procesate individual			1	2
Dimensiuni de aspect			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Controlul sistemului			Sistem de Control Industrial	Sistem de Control Industrial
Nivel de automatizare			automată	automată

Fabrica

Detalii produs

Împachetare și livrare

Profilul companiei

16 ani de experiență în exportul de echipamente! Putem să vă oferim o soluție integrală pentru Procesele și Echipamentele Front End ale Semiconductoarelor!