Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți Cot

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pagina principală
DESPRE NOI
MH Equipment
Soluție
Utilizatori din străinătate
Video
CONTACTAȚI-NE
Acasă> MH Equipment> Șurubel și Lustritor
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP
  • Curățare Automată Post CMP

Curățare Automată Post CMP

Obțineți un presupus gratuit
Descriere produs

Echipament de Curățare după Polirea Chimic-Mecanică a Plăcii

Curățare Post CMP

Caracteristicile mașinii

Abilitate puternică de procesare
Spalare dublă cameră, cu o gamă largă de aplicabilitate a procesului
Echipamentul ocupa o suprafață mică, cu dimensiunile de 2200 * 800 * 2200 (mm)

Câmpuri de aplicare

spalare post CMP de 6-8 inch
Curățare după pandare SIC sau alte substanțe de bază

Parametrii tehnici

Curățare după CMP de 4 inch și 6 inch
Proiectare cu două camere, operațiune independentă a camerelor Umplere umedă și scurgeri uscate sau umplere uscată și scurgeri uscate
Secaj rapid la viteză ridicată SRD

Unitate LoadPort, unitate de încărcare

LoadPort este unitatea de încărcare a acestei dispozitive
Alimentare cu cassette umede
Are funcția de umplere cu jeturi de apă

Unitate cu periuțe, unitate de curățare a discului Wafer

Unitate cu două camere, capabilă să susțină două soluții diferite de curățare
Poziția de spălare se poate ajusta în funcție de rețetăBanda Transportatoare

Unitate SRD, Unitate de uscat a plăcilor Wafer

Tip de uscare prin rotație a plăcilor Wafer, cu o viteză maximă de 4000RPM
Poate efectua curățarea AS pe suprafața plăcii și spray DIW

Unitate UNLOAD, unitate de tăiere

Unitatea UnLoad are un FFU independent pentru a asigura curățenia ieșirii plăcii

Transportor

Zona umedă este banda transportatoare
Zona secă pentru teleportarea Robotului

Descriere a unității de spălare

După cum se arată în figura din stânga, unitatea de spălare a acestui dispozitiv constă din două unități de spălare, anume BU1 BU2.
Presiunea perchiei pentru fiecare unitate poate fi ajustată separat (conform specificațiilor din rețetă), iar fiecare unitate de lame de perche poate fi spălată separat cu soluții de curățare chimică diferite.
Percha mașinii este din PVA, un tip uzual pe piață.
Transmisia între camere este printr-un transporter cu bandă. Există un SPĂLĂTOR DIW în interiorul camerei.

Unitate SRD

Unitatea SRD este echipată cu un CHUCK de ștergere și un BRAT AS, care pot curăța fizic și usca prin rotație suprafața plăcii.
Specificitați
Dimensiunea echipamentului:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Metode de încărcare și descărcare
uscat în / umed în / uscat afară
Numărul unităților de curățare cu perche
2
Numărul unităților SRD
1
Metodă de transport
Transport cu bandă în zona umedă, transport robotic în zona uscată
Dimensiunea echipamentului cu o cameră de spălare de 1 este 1850 * 800 * 2200
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Întrebări frecvente
1. Despre preț:
Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:
Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre Plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească produsele. După ce
echipamentul este gata și plătiți restul, vom expedia.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:

Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

Mai multe produse

Cerere de informații

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de Confidențialitate

Cerere de informații Email WhatsApp Top
×

Pune-te în contact