Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți Cot

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pagina principală
DESPRE NOI
MH Equipment
Soluție
Utilizatori din străinătate
Video
CONTACTAȚI-NE
Acasă> Ștergătoare de discuri
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)
  • Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)

Aparat automat cu un singur platen pentru polire chimic-mecanică a discului (CMP)

Obțineți un presupus gratuit
Descriere produs
ATOM Single Platen CMP

Caracteristicile mașinii

Dispozitivul este flexibil și poate să susțină mai multe capete.
Capacitatea de proces a echipamentului este apropiată de nivelul modelului principal al produselor de aceeași dimensiune.
Bună consistență a procesului inter-dispozitiv.

Câmpuri de aplicare

polire STI, ILD/IMD, TSV, TGV de 4-8 inch și polire a suprafețelor pentru compuși precum SiC, LT, LN, GaAs, etc.

Parametrii tehnici

capete de 4 inch, 6 inch, 8 inch, control multi zonă
Tipul Plăcii Φ20 inch 508MM
Precizie control presiune cap <0.05PSI
Precizie control viteză de rotație a capului și plăcii <2RPM

1. Unitate LoadPort

Portul poate fi rostogolit pentru a imerge Cassette în Qtank, evitând formarea cristalurilor Slurry pe
suprafața poliată a discului. Echipat cu funcția Cassette Mapping.

2. Unitate de prelevare material robotizată

Echipat cu un robot cu 4 axe, poate transfera automat discurile de la Cassette la unitatea de polire.

3. Înveţi să te gândeşti. Unitatea de lustruit

Această unitate este echipată cu Platen * 1, Cap * 1, PC *
în cazul în care se aplică o metodă de testare a concentrațiilor de CO2 de la o concentrație de CO2 de peste 0,5% la o concentrație de CO2 de peste 0,5%, se aplică următoarele metode:
detecţia. Poate realiza încărcarea și descărcarea automată a plachetei, controlul capului multi-zonă, Slurry
schimbarea punctului de aterizare cu setările Rețetă, detectarea punctului final și alte funcții.
Cap de lustruiță CMP
Capetele de lustruit configurate pe acest dispozitiv sunt toate dezvoltate, proiectate şi produse independent de compania noastră.
Printre acestea, capul cu 3 cavităţi de 4 inch este un produs unic creat de compania noastră, umplând golul de nu există cap de 4 inci cu mai multe cavităţi în China. Compania noastră poate modifica rapid sau personaliza capul în funcţie de caracteristicile produsului clientului. În cadrul dezvoltării produselor TGV cu folie subțire (200 mm), structura internă a capului a fost modificată pentru a satisface cerințele de lustrucere a foliei subțire. În timpul procesului de dezvoltare a tehnologiei de lustruit LN de suprafață OX, compania noastră a îmbunătățit profund capul de 6 inci și a îndeplinit cu succes cerințele de produs ale clientului.
Aplicații
Proces de polire de planarizare IC tradițională;
Proces TGV/TSV;
Smart Cut și CMP pre-bonding;
Polire substrat SIC/polire arsenur de galii.
Specificitați
Port
Cantitate * 1, cu rezervor Q
Robot
Cantitate * 1, pentru transferul plăcilor
HCLU
Cantitate * 1, pentru încărcarea și descărcarea automată a plăcilor
Cap de polire
Cantitate * 13 control al cavitaților, precizie de control de 0.1PSI, poate susține operațiuni pe plăci de 400-1200 UM.
Viteza capului de polire
5-150RPM
Disc de lustruire
Cantitate * 1 Dimensiune Disc de Polire 508mm, Viteza Pad de Polire 10-150rpm.
Brat de tăiere
Cantitate * 1 pad de polire. Pad-ul de polire poate fi folosit în mod online (simultan) sau offline (după polire). Tăierea
bratului este echipată cu un axă de tăiere, care poate rotași și se mișcă în sus și în jos, iar viteza și forța de apăsare pot fi controlate. Instrumentul
de tăiere este montat pe axa de tăiere și poate fi scos rapid
în funcție de diferitele tipuri de păduri de polire, sunt configurate diferite tipuri de unelte de prelucrare, inclusiv
părchi de curățare, inele de diamant și discuri de diamant.
Unitate de control a presiunii aerului pentru capul de polire UPA
Cantitate * 13. Ajustabil în zone pentru un efect mai bun de planarizare a suprafeței.
Pumpă de aprovizionare cu lichid de polire.
Cantitate * 2. Se folosesc pompe peristaltice pentru aprovizionarea cu lichid, fiind configurate 2 pompe peristaltice pentru a livra diferite lichide de polire
la discul de polire. Fiecare pompă poate fi folosită la orice etapă a procesului.
Brat pentru pulbere de polire
Cantitate * 1 poate controla punctul de atingeri al pulberii și poate curăța placa de polire.
Sistemul de control operațional poate realiza control la nivel de utilizator, cum ar fi modul operator, modul de întreținere și modul tehnic, iar diferitele mode sunt controlate prin parole. Software-ul sistemului poate edita parametrii procesului pentru fiecare etapă a procesului și să planeze și
să poalizeze stratul subțire de pe suprafața plăcii conform programului. Poate monitoriza starea de funcționare a echipamentelor, să monitorizeze parametrii procesului în timp real, iar software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului. Echipat cu o oprirea de urgență
polire a straturilor subțiri pe suprafața plăcii conform programului. Poate monitoriza starea de funcționare a echipamentelor, să monitorizeze parametrii procesului în timp real, iar software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului.
și software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului. Echipat cu o oprire de urgență.
buton, folosit pentru a opri imediat funcționarea echipamentelor și a decupa puterea de control.
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Întrebări frecvente
1. Despre preț:
Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:
Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre Plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească produsele. După ce
echipamentul este gata și plătiți restul, vom expedia.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

Mai multe produse

Cerere de informații

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de Confidențialitate

Cerere de informații Email WhatsApp Top
×

Pune-te în contact