Sursa de plasmă
|
RF+BIAS
|
||
Putere
|
1000W
|
1000W
|
|
600W
|
600W
|
||
Zonă de aplicare
|
4-8 inch
|
||
Numărul de felii procesate individual
|
unul
|
||
Dimensiuni de aspect
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Controlul sistemului
|
Sistem de Control Industrial
|
||
Nivel de automatizare
|
Manual
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved