Model |
MDTS-WT2200 |
Numărul de axe de subțiere |
2 |
Numărul de bancuri de lucru |
3, metoda indexului |
Axul roții de șlefuit |
Număr de axe de aer: 2 Motor ax: motor cu frecvență variabilă de 7.5 kW Viteza: 0~6000rpm, reglabila continuu Specificații discului de șlefuit: Φ203mm Tipul discului de șlefuit: roată de șlefuit cu diamant |
Sistem de alimentare cu roata de polizare |
Cantitate: 2 seturi Metoda de control al sistemului de alimentare: șină de ghidare LM și șurub cu bile combinaţie Motor de antrenare: servomotor Viteza minima de alimentare: 0.1um/sec Viteza maximă de avans: 50 mm/sec |
Banc de lucru |
Cantitate: 3, modul index Motor ax: Servomotor Viteza: 0~300rpm, reglabila continuu Metoda de adsorbție: Adsorbție în vid |
Placa turnantă de lucru |
Mod de acționare: servomotor Interval de rotație: 0~240° Forma de poziționare: poziționare asistată de senzor |
Grosimea automată sistem de măsurare |
Metoda de măsurare: IPG contact online măsurare în timp real Număr de capete de măsurare: 2 Senzor de măsurare: senzor de nivel 0.1um |
Încărcare automată/ sistem de descărcare |
Tip cutie: casetă de 6-8 inch, 25 de straturi Metoda automată de încărcare/descărcare: manipulatorul de napolitane este utilizat pentru a asigura transportul fără deteriorare a napolitanelor subțiri Grosimea plachetei: 150um-1000um |
Funcția de curățare a bancului de lucru |
Metoda de curățare: lustruire cu piatră uleioasă și apă DI + spălare cu două fluide cu aer |
curatare automata/ sistem de uscare |
Curățare: curățarea duzelor DIW Metoda de uscare: suflare + uscare Viteza: max1000rpm reglabila continuu |
Sistem de eliminare statică |
Ion bar orion ventilator |
Răcitor de ax |
Temperatură: 18-22 ° C Debit: 4~8L/min |
Sistem de control |
Sistem de control: sistem de control PC, ecran tactil 3-coloralarm lumina Interfață om-mașină chineză/engleză |
Dimensiunea maximă a plachetei |
Maxim compatibil cu 8 inci |
Interval de viteză |
0 ~ 6000 RPM |
Deplasare pe axa Z |
160mm |
Viteza de avans pe axa Z |
0.1~100um/sec |
Viteză de retragere rapidă a axei Z |
50 mm / sec |
Rezoluția axei Z |
0.1um |
Interval de măsurare a grosimii online |
0 ~ 1800um |
Rezoluție online de măsurare a grosimii |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate