structură |
ilustrează |
Expunerea bancului |
Zona de expunere: banc, zonă de plasare a substractului |
Sistem optic |
Zona de formare a emisiei laser |
Sistem de control al mediului |
Controlează temperatura și presiunea pozitivă din interiorul dispozitivului |
Sistem platformă |
Controlează mișcarea mesei de expoziție pentru a finaliza operațiunea drumului de expoziție |
Sistem de Control |
Sistem de control al întregului echipament |
Nu. |
Mediu |
Necesită |
1 |
Mediu sursă luminată |
Lumină galbenă |
2 |
Temperatură |
22℃±2℃ |
3 |
Umiditate |
50%±10% |
4 |
Curăţenie |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, aer uscat și curat |
6 |
Sursă de Alimentare |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Cablul de masă trebuie să fie conectat la masă, |
7 |
Apa de răcire |
Temperatură：10℃~ 20℃ Presiune：0.3MPa ~ 0.5MPa Debit：20L/min Diferență de presiune：0.3MPa sau mai mult Diametru de conexiune：Rc3/8 |
8 |
Locație |
nivel：±3mm/3000mm oscilație：VC-B Roua：750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Un port rețea |
11 |
Dimensiune mașină |
1300*1100*2100mm |
12 |
Greutatea dispozitivului |
1500kg |
Nu. |
Proiect |
Specifică. |
Observație |
1 |
Rezoluție |
0.6um/sau altă cerere |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Grosimea substractului |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Accuratețea grilei de date |
60nm |
|
5 |
Suprapunere |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Accuratețea legăturii |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Dimensiune maximă a expunerii |
190X190mm |
|
8 |
Debit |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
sursă de Luminozitate |
LD 375nm |
|
10 |
puterea luminii |
6W |
|
11 |
Uniformitate energetică |
≥ 95% |
|
12 |
durata de viață a luminii |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
