Sistem de litografie fără mască MCXJ-MLS8, China MCXJ-MLS8 Sistem de litografie fără mască Producători, furnizori, fabrică

descrierea produsului

Eșantion:

MCXJ-MLS8 Fabricarea sistemului de litografie fără mască

Diagrama structurii echipamentului

MCXJ-MLS8 Furnizor de sistem de litografie fără mască

Specificație

Diagrama structurii gazdei de expunere

structura	ilustra
Expunerea blatului	Zona de expunere: blat, zona de amplasare a substratului
Sistem optic	Zona de turnare cu emisie laser
Sistem de control al mediului	Controlați temperatura internă și presiunea pozitivă a dispozitivului
Sistem de platformă	Controlează mișcarea tabelului de expunere pentru a finaliza funcționarea căii de expunere
Sistem de control	Sistem de control al întregului echipament

Notă: Deoarece upgrade-ul mașinii poate schimba aspectul real, subiectul specific la produsul real.

Nu.	Mediu inconjurator	Necesita
1	Mediul sursă de lumină	Lumină galbenă
2	Temperatura	22 ℃ ± 2 ℃
3	Umiditate	50% ± 10%
4	Curățenie	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, aer uscat, curat
6	Sursa alimentare	220~240V、50/60Hz、2.5KW；Firul de împământare trebuie să fie împământat,
7	apa de racire	Temp.: 10℃~ 20℃ Presiune: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Debit: 20 l/min Diferența de presiune: 0.3MPa以上 Preluați calibrul: Rc3/8
8	Locatia evenimentului	nivel: ± 3 mm/3000 mm tremurare: rulment VC-B: 750 kg/㎡
10	Internet	Un port de rețea
11	Dimensiunea mașinii	1300 * 1100 * 2100mm
12	Greutatea dispozitivului	1500kg

Nu.	Proiect	Spec.	Observație
1	Rezoluţie	0.6um/sau altă cerință	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Grosimea substratului	0.2 mm ～ 4 mm
4	Precizia grilei de date	60nm
5	Acoperire	± 500nm	130mmx130mm
6	Precizia cusăturii	± 200nm	AZ703
7	Dimensiunea MAX de expunere	190X190mm
8	tranzitată	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	sursă de lumină	LD 375nm
10	puterea luminii	6W
11	Uniformitate energetică	≥ 95%
12	viata usoara	10000hr

Ambalare și livrare

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Vă putem oferi o soluție profesională pentru echipamente de linie de pachete de front-end și back-end cu semiconductor unic din China.