Unitatea principală a plasmei sub vacuu (100) |
||||
Dimensiune echipament |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|||
greutate |
500kg |
|||
Sursă de alimentare cerută |
AC380V, 50/60Hz, 5 conductoare, 25A (tip deschis total mai mare sau egal cu C) |
|||
Specificatii generator de plasma |
||||
putere |
frecvență radio |
frecvență intermediară |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
frecvență de alimentare |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Sistem de vacuu |
||||
pompă de vid |
Pumpă rotativă de evacuare (pumpă cu ulei): 60 m3/h |
|||
conductă de vid |
Toată linia din oțel inoxidabil, precum și conducte elastice de vid de înaltă putere |
|||
calitatea materială |
alufer |
|||
grosime |
25 mm |
|||
strânsoare |
Sigiliere prin sudură militară |
|||
Dimensiuni interne ale cavitatei |
450*450*500mm (lățime * înălțime * adâncime) |
|||
Dimensiune eficientă a plăcii electrice |
322*351mm (lățime * adâncime) |
|||
Spațierea spațiului disponibil |
20mm |
|||
Aranjament electroplast |
Placă electrostatică orizontală |
|||
tavi |
Set standard, material opțional (aluminiu, rețea de fil de oțel) |
|||
spațiu de lucru |
8 straturi |
|||
gaz de proces |
||||
Interval de debit |
0~300SCCM |
|||
Traseu gaz proces |
Standard cu două căi, se poate personaliza. Conducta de gaz pentru proces este fabricată din feroflon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
mod interactiv |
ecran tactil de 7 inch |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved