Unitate principală a plasmei cu vacum (150) |
||
Dimensiune echipament |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
Greutate |
600kg |
|
Sursă de alimentare cerută |
AC380V, 50/60Hz, 5 conductoare, 25A (tip deschis total mai mare sau egal cu C) |
|
Specificatii generator de plasma |
||
Putere |
frecvență radio |
frecvență intermediară |
0~1000W |
0-2000W |
|
frecvență de alimentare |
13,56 MHz |
40 K Hz |
Sistem de vacuu |
||
pompă de vid |
Pumpă monopolară Leap VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
conductă de vid |
Toată linia din oțel inoxidabil, precum și conducte elastice de vid de înaltă putere |
|
Calitatea materială |
alufer |
|
Grosime |
25 mm |
|
strânsoare |
Sigiliere prin sudură militară |
|
Dimensiuni interne ale cavitatei |
500*500*600mm (Lățime * Înălțime * Adâncime) |
|
Dimensiune eficientă a plăcii electrice |
372(W) X 451(D)mm |
|
Spațierea spațiului disponibil |
24mm |
|
Aranjament electroplast |
Placă electrostatică orizontală |
|
Tavi |
Set standard, material opțional (aluminiu, rețea de fil de oțel) |
|
spațiu de lucru |
8 straturi |
|
Gaz de proces |
||
Interval de debit |
0~300SCCM |
|
Traseu gaz proces |
Standard cu două căi, se poate personaliza. Conducta de gaz pentru proces este fabricată din feroflon |
|
Sistem de Control |
||
SC |
Control PC |
|
mod interactiv |
Interfață Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved