Unitate gaz plasma (150) |
||||
Dimensiune echipament |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|||
greutate |
600kg |
|||
Sursă de alimentare cerută |
AC380V, 50/60Hz, 5 conductoare, 25A (tip deschis total mai mare sau egal cu C) |
|||
Specificatii generator de plasma |
||||
putere |
frecvență radio |
frecvență intermediară |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
frecvență de alimentare |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Sistem de vacuu |
||||
pompă de vid |
Pumpă monopolară Leap VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|||
conductă de vid |
Toată linia din oțel inoxidabil, precum și conducte elastice de vid de înaltă putere |
|||
calitatea materială |
alufer |
|||
grosime |
25 mm |
|||
strânsoare |
Sigiliere prin sudură militară |
|||
Dimensiuni interne ale cavitatei |
500*500*600mm (Lățime * Înălțime * Adâncime) |
|||
Dimensiune eficientă a plăcii electrice |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Spațierea spațiului disponibil |
24mm |
|||
Aranjament electroplast |
Placă electrostatică orizontală |
|||
tavi |
Set standard, material opțional (aluminiu, rețea de fil de oțel) |
|||
spațiu de lucru |
8 straturi |
|||
Gaz de proces |
||||
Interval de debit |
0~300SCCM |
|||
Traseu gaz proces |
Standard cu două căi, se poate personaliza. Conducta de gaz pentru proces este fabricată din feroflon |
|||
Sistem de Control |
||||
SC |
Control PC |
|||
mod interactiv |
Interfață Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved