Gazini de bază cu plasma (200) |
||
Dimensiune echipament |
1050×1700×1050mm(lățime, înălțime și adâncime) |
|
Greutate |
800 kg |
|
putere necesară |
AC380V, 50/60Hz, 5 fire, 30A |
|
Specificatii Generatoare Plasma |
||
energie electrică principală |
frecvență radio |
dacă |
0~1000W |
0-2000W |
|
Frecvență de alimentare |
13,56 MHz |
40 KHz |
Sistem de vacuu |
||
pompă de vid |
Pumpă unipolară Feiyue VSV100 + Ambele pompe Roots BSJ70 |
|
linie de vid |
Toate conductele din oțel inoxidabil și membrane de vid de înaltă rezistență |
|
Material |
Aliaj de aluminiu |
|
Grosime |
25 mm |
|
strânsoare |
Sigiliere sudată de calibru militar |
|
Dimensiuni interne ale cavitatei |
600×600×600mm (L×H×P) |
|
Dimensiune eficientă a plăcii electrod |
472 X 451mm (L×P) |
|
spațiu disponibil |
35mm |
|
Dispoziție a plăcii electrodice |
Placă electrostatică orizontală |
|
tălpiere de lucru |
Un set este standard, iar materialul este opțional (aluminiu, rețea metalică) |
|
spațiul de lucru |
8 etaje |
|
Gaz de proces |
||
Interval de debit |
0~300SCCM |
|
Circuit de gaz de proces |
Echipat cu gaz trei-vie O2, Ar, N2 |
|
Sistem de Control |
||
Controlul sistemului |
Control PC |
|
mod interactiv |
Interfață Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved