Gazdă de plasmă de vid (200) | ||||
Dimensiunea echipamentului | 1050×1700×1050mm (lățime, înălțime și adâncime) | |||
greutate | 800Kg | |||
cere putere | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Specificațiile generatorului de plasmă | ||||
alimentarea de la rețea | frecvență radio | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Frecvența de alimentare | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Sistem de vid | ||||
Pompă de vid | Pompă unipolară Feiyue VSV100 + pompă Both Roots BSJ70 | |||
linie de vid | Toate țevile din oțel inoxidabil și burdufuri de vid de înaltă rezistență | |||
material | Aliaj de aluminiu | |||
grosime | 25mm | |||
etanşeitate | Sigiliu sudat de calitate militară | |||
Dimensiuni interne cavitate | 600×600×600mm (L×A×D) | |||
Dimensiunea efectivă a plăcii electrodului | 472 X 451 mm (L×D) | |||
spatiu disponibil | 35mm | |||
Dispunerea plăcilor cu electrozi | Placă de electrod orizontală | |||
tava de lucru | Un set este standard, iar materialul este opțional (aluminiu, plasă de oțel) | |||
Spațiu de lucru | pardoseli 8 | |||
Gaz de proces | ||||
Gama debitului | 0~300SCCM | |||
Circuitul gazului de proces | Echipat cu gaz cu trei căi O2, Ar, N2 | |||
Sistem de control | ||||
controlul sistemului | control PC | |||
modul interactiv | Interfața Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate