Gazier sub vid (200) |
||||
Dimensiune echipament |
1050×1700×1050mm (lățime, înălțime și adâncime) |
|||
greutate |
800 kg |
|||
putere necesară |
AC380V, 50/60Hz, 5 fire, 30A |
|||
Specificatii Generatoare Plasma |
||||
energie electrică principală |
frecvență radio |
Dacă |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Frecvență de alimentare |
13,56 MHz |
40 KHz |
||
Sistem de vacuu |
||||
pompă de vid |
Pumpă unipolară Feiyue VSV100 + Ambele pompe Roots BSJ70 |
|||
linie de vid |
Toate conductele din oțel inoxidabil și membrane de vid de înaltă rezistență |
|||
material |
Aliaj de aluminiu |
|||
grosime |
25 mm |
|||
strânsoare |
Sigiliere sudată de calibru militar |
|||
Dimensiuni interne ale cavitatei |
600×600×600mm (L×H×P) |
|||
Dimensiune eficientă a plăcii electrod |
472 X 451mm (L×P) |
|||
spațiu disponibil |
35mm |
|||
Dispoziție a plăcii electrodice |
Placă electrostatică orizontală |
|||
tălpiere de lucru |
Un set este standard, iar materialul este opțional (aluminiu, rețea metalică) |
|||
Spațiul de lucru |
8 etaje |
|||
Gaz de proces |
||||
Interval de debit |
0~300SCCM |
|||
Circuit de gaz de proces |
Echipat cu gaz trei-vie O2, Ar, N2 |
|||
Sistem de Control |
||||
controlul sistemului |
Control PC |
|||
mod interactiv |
Interfață Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved