Unitate gazdă cu plasmă de vid (60) | ||||
Dimensiunea echipamentului | L 950×L 900×H 1650mm | |||
greutate | 350Kg | |||
Cerere de alimentare cu energie | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linii, 16A (tip deschis total deasupra C) | |||
Specificația generatorului de plasmă | ||||
putere | frecvență radio | frecvență intermediară | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
frecventa de alimentare | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Sistem de vid | ||||
Pompă de vid | Pompa rotativa cu doua trepte (pompa de ulei): 40m3/h | |||
conductă de vid | Toate liniile din oțel inoxidabil, precum și burdufuri de vid de înaltă rezistență | |||
calitatea materialului | Aliaj de aluminiu (cavitate personalizabilă din oțel inoxidabil) | |||
grosime | 25mm | |||
etanşeitate | Sigiliu de sudare de calitate militară | |||
Dimensiunile interioare ale cavității | 375*375*430mm (latime * inaltime * adancime) | |||
Dimensiunea efectivă a plăcii electrice | 247*281mm (lată* adâncime) | |||
Spațiere disponibilă | 22mm | |||
Aranjamentul plăcilor electromagnetice | Aspect orizontal, poate fi extracție activă | |||
tăvi | Set standard, material opțional (aluminiu, plasă de sârmă de oțel) | |||
spațiu de lucru | strat 6 | |||
gaz de proces | ||||
Gama debitului | 0~300SCCM | |||
Traseul gazului de proces | Standard cu două moduri, poate fi personalizat. Conducta de gaz de proces este realizată din feroflon | |||
naviga | ||||
SC | PLC | |||
modul interactiv | Ecran tactil de 7 inchi |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate