1. Mod de lucru: robotul de încărcare încarcă automat napolitane din cutia de napolitane AB (reciclabilă) la prepoziționare
banc de lucru, iar prin reglarea plachetei de poziționare a camerei și a sistemului de rotație automată, se realizează poziționarea prealabilă a plachetei; Robotul de încărcare încarcă apoi plachetele prepoziționate pe bancul de lucru de aliniere. Prin recunoașterea imaginii computerizată și ajustarea automată a sistemului de aliniere, se poate realiza alinierea automată a graficelor pe mască și napolitane. De asemenea, este posibil să finalizați o expunere fără a alinia grafica. După expunerea automată de către sistemul de supraexpunere, robotul de descărcare plasează automat napolitanele în cutia de napolitane CD (reciclabilă).
2. Zona de expunere: 160 × 160mm;
3. Iluminare neuniformă de expunere: ≤ 3%;
4. Intensitatea expunerii: 0~≥ 40mw/cm2 reglabilă (unghiul fasciculului 2 °);
5. Unghiul fasciculului UV: ≤ 3 °;
6. Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm;
7. Durata de viață a sursei de lumină UV: ≥ 20000 ore;
8. Capacitate de separare: 0~≥ 1000um reglabil;
9. Precizia alinierii: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Precizia expunerii: Expunerea la contact ± 1 μ m. Separarea la apropierea expunerii de 20 μ M unghiul fasciculului 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Metode de expunere: contact dur, contact moale și expunere de proximitate;
12. Modul de expunere: Puteți alege între expunere unică sau expunere compensată
13. Sistem de recunoaștere a imaginii de pre-poziționare și de rotație automată (inclusiv banc de lucru de pre-poziționare): unghi de rotație Q ≥ ± 180 °, precizie de rotație Q ≤ 0.01 °;
14. Sistem de recunoaștere a imaginii și aliniere automată (inclusiv bancul de lucru pentru aliniere UVW): domeniul de aliniere XY ≥ ± 5 mm, unghiul de rotație Q ≥ ± 3 ° și două lentile ale microscopului sunt controlate de două platforme electrice XYZ.
15. Mărimea măștii: 5 " × 5 " și 7 " × 7 ";
16. Dimensiunea plachetei: 4 "și 6";
17. Posturi de lucru cutie film superioară și inferioară: posturi de lucru duale;
18. Airbag pernă pentru picioare
19. Încărcare și descărcare braț robotizat cu două brațe: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Numărul de napolitane din cutia de napolitane: determinat pe baza numărului de napolitane din cutia de napolitane a clientului;
21. Ridicare masa de pozitionare: Z ≥ ± 25mm;
22. Timpul de expunere: reglabil de la 0 la 999.9 secunde;
23. Ritm de productie:>120 bucati pe ora;
24. Alimentare: AC220V monofazat 50Hz, consum de energie ≤ 3KW;
25. Presiunea aerului curat: ≥ 0.4MPa;
26. Gradul de vid: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Dimensiune: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Greutate: Aproximativ 400kg