MDICP-5000F Mașină de gravat ICP complet automată / echipamente cu semiconductoare Plasmă cuplată inductiv, China MDICP-5000F Mașină de gravare ICP complet automată / echipamente semiconductoare Plasmă cuplată inductiv Producători, furnizori, fabrică

descrierea produsului

MDICP-5000F Mașină de gravat ICP complet automată

Rezumat

Echipamentul este un sistem de vid cu două camere. O cameră este camera de prelevare a probelor de injecție, iar cealaltă este camera de gravare. Între camera de prelevare a probelor de injecție și camera de gravare este instalată un blocaj cu vid, iar proba de injecție este transportată de manipulator.
Echipamentul este compus în principal din sistem de vid, sistem de circuit de gaz, sistem electric, sistem de control, sistem de răcire, mecanism de alimentare și preluare a filmului, sistem de alarmă etc.

Sistem de vid

Sistemul constă dintr-o pompă moleculară cu o viteză de pompare de 600 L / S + o pompă uscată de vid importată cu o viteză de pompare de L / s pentru a pompa camera de gravare la vid înalt. Între pompa moleculară și camera de gravare este instalată o supapă electrică de reglare a presiunii dinamice. Pompa uscată importată este pompa de pre-pompare a camerei de gravare și pompa de etapă frontală a pompei moleculare. Utilizați o altă pompă mecanică cu viteză de pompare de L/s pentru a aspira camera de probă. Burduful din oțel inoxidabil este folosit pentru conectarea între pompa mecanică și camera de vid și pompa moleculară, iar supapa de blocare pneumatică electromagnetică este instalată.

Sistem de control al presiunii constante

Echipamentul este echipat cu un sistem de control al presiunii constante în aval, iar în conducta de extracție a aerului este instalată o supapă electrică reglabilă. Prin măsurarea gabaritului de film (piese importate), supapa reglabilă este controlată pentru a face ca camera de vid să atingă o presiune constantă, astfel încât să îmbunătățească stabilitatea procesului.

Sistem de control al presiunii constante

Sistem de circuit de gaz

Două seturi de surse de alimentare RF cu potrivire automată.

Sistem de alarma

Cerințe de siguranță pentru echipamente.

Specificație

Nume	spc	Marca	Nr./Set	notițe
Cameră de gravare, conductă de extracție a aerului, fereastra de observare, interfață rezervată etc	Standard	JSWN	1	Anticoroziv
Cadru, dulap electric, garnituri, piese standard etc	Standard	JSWN	1
Sistem de ridicare a capacului camerei de gravare	Standard	JSWN	1	Anticoroziv
Electrod de gravare și sistem de răcire	Standard	JSWN	1	Anticoroziv
Pompă moleculară (viteza de pompare 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Anticoroziv
Pompă uscată de admisie (viteza de pompare 9 L/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Anticoroziv
Pompă mecanică (viteza de pompare 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Supapă de reglare electrică	DCQ-150	JSWN	1	Anticoroziv
Supapă de oprire cu burduf pneumatic	KF40	JSWN	3	Anticoroziv
Calibrul filmului	KF16	INFICON	1	Anticoroziv
Controler debit de masă	D07	Sevenstar	4	Anticoroziv
Supapă pneumatică cu diafragmă	VCR de 1/4″	-	4	Anticoroziv
Țeavă din oțel inoxidabil, îmbinare a țevii etc	VCR de 1/4″	-	4	Anticoroziv
Alimentare RF / potrivire automată	-	China (OpționalCROWN1310)	1
Alimentare RF / potrivire automată	-	China (OpționalCROWN1310)	1
Vacuometru compozit	ZDF	RB	1
IPC	2U	China	1
Ecran tactil LCD	17inch	China	1
Sistem de control PLC	S7-200	Siemens	1
Sistem de control electric al acționării	Standard	JSWN	1
Sistem de detectare a apei de răcire și conducte	Standard	JSWN	1
Sistem de detectare a aerului comprimat și conducte	Standard	JSWN	1
Aparat de racire cu circulatie a apei	HX	China	1
Gravare camera de injectare	Standard	JSWN	1
Blocare cu vid	SMC	SMC	1
Sistem de control al manipulatorului	SMC	SMC	1

Parametru tehnic mail

1. Limită vid: cameră de gravare 9.0 × 10-5 Pa (umiditate interioară ≤55%)
Camera de prelevare a probelor de injecție 6.0×10-1Pa
2. Material de gravare: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2, etc.
3. Viteza de gravare: ~ 1μ/min
4. Uniformitate gravare: ≤±5% (gama φ125mm)
6. Dimensiunea electrodului: φ200mm

Ambalare și livrare

Pentru a asigura mai bine siguranța bunurilor dvs., vor fi furnizate servicii de ambalare profesionale, ecologice, convenabile și eficiente.

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Vă putem oferi o soluție profesională pentru echipamente de linie de pachete de front-end și back-end cu semiconductor unic din China.