Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți Cot

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

pagină de start
DESPRE NOI
MH Equipment
Soluție
Utilizatori din străinătate
Video
CONTACTAȚI-NE
Acasă> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Mașinărie de etalaj ICP Fully Automatic Plasmă cuplată inductiv
  • MDICP-5000F Mașinărie de etalaj ICP Fully Automatic Plasmă cuplată inductiv
  • MDICP-5000F Mașinărie de etalaj ICP Fully Automatic Plasmă cuplată inductiv
  • MDICP-5000F Mașinărie de etalaj ICP Fully Automatic Plasmă cuplată inductiv

MDICP-5000F Mașinărie de etalaj ICP Fully Automatic Plasmă cuplată inductiv

Obțineți un presupus gratuit
Descriere produs

MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Rezumat executiv

Echipamentul este un sistem cu două camere sub vacuu. O cameră este camera de eșantionare prin injecție, iar cealaltă este camera de etched. Există o închidere sub vacuu între camera de eșantionare prin injecție și camera de etched, iar eșantioanele sunt transportate prin manipulator.
Echipamentul este format în principal din sistem de vacum, sistem de circuite de gaz, sistem electric, sistem de control, sistem de răcire, mecanism de introducere și extragere a filmului, sistem de alarmă, etc.

Sistem de vacuu

Sistemul constă într-o pompu moleculară cu o viteză de pompare de 600 L/s + o pompu secă de import cu o viteză de pompare de L/s pentru a pompa camera de erodare la un vacum ridicat. Între pompa moleculară și camera de erodare este montată o valvă de reglare a presiunii cu comandă electrică. Pompa secă importată este pompa pre-pompare a camerei de erodare și pompa anterioară a pompei molecule. Se folosește o altă pompu mecanică cu o viteză de pompare de L/s pentru a crea vacum în camera de eșantion. Pentru conexiuni între pompa mecanică și camera de vacum și pompa moleculară se folosesc tuburi flexibile din oțel inoxidabil, iar pe acestea sunt instalate valve electro-pneumatice de blocare.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de circuit de gaz

Două seturi de alimentare electrică RF cu potențial automat ajustabil.

Sistem de Alarmă

Cerințe de siguranță privind echipamentul.
Specificitați
Nume
Spc
Marcă
Nr./Set
Notă
Camera de etaljare, conducta de extracție a aerului, geamul de observație, interfața rezervată, etc.
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Cadru, armatură electrică, închisorile, piese standard, etc.
Standard
JSWN
1
Sistem de ridicare a acoperişului camerei de etching
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Electrod de etching şi sistem de răcire
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Pumpă moleculară (viteză de pompare 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticoroziv
Pumpă secă de intrare (viteză de pompare 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticoroziv
Pumpă mecanică (viteză de pompare 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Valvă electrică de reglare
DCQ-150
JSWN
1
Anticoroziv
Valvă pneumatică de oprire cu talpe
KF40
JSWN
3
Anticoroziv
Indică film
KF16
INFICON
1
Anticoroziv
Controler de flux masiv
D07
Sevenstar
4
Anticoroziv
vanoaie pneumatică cu membrană
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Tub de oțel inoxidabil, uniune tubulară, etc.
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Indicatoare compus de vacum
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
Ecran LCD cu touch
17 inch
China
1
sistem de control plc
S7-200
Siemens
1
Sistem de control al motorului electric
Standard
JSWN
1
Detectare apei de răcire și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Detectare aer comprimat și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Mașină de circulație a apărei de răcire
hx
China
1
Camera de injecție pentru etalaj
Standard
JSWN
1
Bloc vacuum
SMC
SMC
1
Sistem de control al manipulatorului
SMC
SMC
1

Parametru tehnic prin poștă

1. Vacum limită: Camera de etalaj 9.0×10-5Pa (Umiditatea internă≤55%)
Camera de eșantionare prin injecție 6.0×10-1Pa
2. Material de etalaj: Material Ⅲ, Ⅴ, Si, SiO2, etc.
3. Rata de etalaj: ~ 1μ/min
4. Uniformitatea etching-ului: ≤±5％(interval φ125mm)
6. Dimensiunea electrodului: φ200mm
Împachetare și livrare
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Pentru a asigura mai bine siguranța bunurilor dumneavoastră, vor fi furnizate servicii de ambalare profesionale, ecologice, convenabile și eficiente.
Profilul companiei
Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Putem să vă oferim o soluție profesională integrală pentru linia de ambalaj a extremului anterior și posterior al semiconductoanelor din China.
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Mai multe produse

Cerere de informații

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de Confidențialitate

Cerere de informații Email WhatsApp Top
×

Pune-te în contact