TIP |
MDPS-560 II |
||
Camera Principală de Sputtering |
cameră de vid piriformă, dimensiune: Φ560×350mm |
||
Cameră de Introducere a Eșantioanelor |
tip cilindric orizontal, dimensiune: Φ250mm×420mm |
||
Sistem de pompare |
pumpă moleculară compusă independentă și set de pompe mecanice pentru camera principală de sputtering și cameră de introducere a eșantioanelor. |
||
Vid Final |
Camera Principală de Sputtering |
≤6.67×10-6Pa (după copt și dezgazare) |
|
Cameră de Introducere a Eșantioanelor |
≤6.67×10-4Pa (după copt și dezgazare) |
||
Regainare Timp de Vacum |
Camera Principală de Sputtering |
6,6×10-4Pa după 40 de minute (pompare după o expoziție scurtă la aer și umplere cu nitrogen uscat) |
|
Cameră de Introducere a Eșantioanelor |
6,6×10-3Pa după 40 de minute (pompare după o expoziție scurtă la aer și umplere cu nitrogen uscat) |
||
Modul Țintă Magnetron |
5 ținte permanente cu magneti; dimensiune Φ60mm (una dintre ținte poate efectua spargerea prin bombardament cu particule ale materialelor feromagnetice). Toate țintele pot să facă spargerea RF și compatibilă cu spargerea DC; iar distanța între țintă și eșantion este ajustabilă de la 40mm la 80mm. |
||
Masă cu Revoluție pentru Încălzire a Substratelor cu Răcire cu Apă |
Structură Substrat |
Șase stații, cu furnelul de încălzire montat pe una dintre stații, iar celelalte sunt stații de răcire cu apă a substratelor. |
|
Dimensiune |
Φ30mm, șase bucate. |
||
Mod de mișcare |
0-360°, reciprocă. |
||
Încălzire |
Temperatură maximă 600℃±1℃ |
||
Substrat cu polarizare negativă |
-200V |
||
Sistem de circuit de gaz |
Controlor de flux masiv cu 2 căi (MFC) |
||
Cameră de Introducere a Eșantioanelor |
Camera de probe |
Șase operațiuni simple odată |
|
Anelator |
Temperatură maximă de încălzire 800℃±1℃ |
||
Modul Țintă Resputtering |
Curățare prin Resputtering |
||
Sistem de Trimitere Magnet Eșantion |
Utilizat pentru transportul eșantioanelor între camera de sputtering și camera de injectare a eșantioanelor. |
||
Sistem de Control Computerizat |
Rotație eșantion, deschidere și închidere a paravanei și control al poziției țintei |
||
Suprafață Ocupată |
Set Principal |
2600×900mm2 |
|
cabinet electric |
700×700mm2 (două seturi) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
