MDXN-25D Mask aligner, China MDXN-25D Mask aligner Producători, Furnizori, Fabrică

descrierea produsului

Acest echipament este o mașină de litografie de precizie dezvoltată de compania noastră special pentru caracteristicile de utilizare ale mașinilor de litografie în diferite colegii și instituții de cercetare. Este folosit în principal pentru dezvoltarea și producerea de circuite integrate mici și mijlocii, componente semiconductoare, dispozitive optoelectronice, și dispozitive cu unde acustice de suprafață.
Pornind de la premisa menținerii principalelor indicatori tehnici originali ai echipamentului, am optimizat unele structuri și componente ale echipamentului, am redus unele acțiuni mecanice inutile și ne-am asigurat că punctele de defecțiune ale echipamentului sunt minimizate pe cât posibil, iar funcționarea echipamentului este, de asemenea, foarte stabil și fiabil.

Specificație

Parametrii tehnici principali

1.Tip de expunere: o singură față.
2.Zona de expunere: 110×110mm.
3. Iluminare expunere neuniformă: ≤±3%.
4. Intensitatea expunerii: 0-30 mw/cm2 reglabilă.
5.Unghiul fasciculului UV: ≤3°.
6.Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm.
7. Durata de viață a sursei de lumină UV: ≥500 de ore.
8. Adoptarea obturatorului electronic.
9.Rezoluția expunerii:1 μm;
10.Raza de scanare microscopică:X:±15mm Y:±15mm;
11. Interval de aliniere: ajustare X, Y ± 4 mm; Ajustare direcție Q ± 3°;
12. Precizia gravării: 1 μ Precizia „versiunii” și „cipului” utilizatorului trebuie să respecte reglementările naționale,
iar mediul înconjurător, temperatura, umiditatea și praful pot fi controlate strict. Se folosește fotorezist pozitiv importat, iar grosimea fotorezistului uniform poate be strict controlat. În plus, procesele din față și din spate sunt avansate;
13. Cantitatea de separare;0~50 μm reglabil;
14. Metoda de expunere: expunere apropiată, care poate obține un contact dur, un contact moale și o expunere la microforță; 15.Formula de constatare a pătratului: aer

Ambalare și livrare

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Vă putem oferi o soluție profesională pentru echipamente de linie de pachete de front-end și back-end cu semiconductor unic din China.