Acest echipament este destinat în principal dezvoltării și producției de circuite integrate mici și mijlocii, componente semiconductoare, și dispozitive cu undele acustice de suprafață. Datorită mecanismului avansat de nivelare și forței reduse de nivelare, această mașină nu este doar potrivită pentru expunerea diferitelor tipuri de substanțe de bază, dar și pentru expunerea substanțelor de bază fragile, cum ar fi arsenura de potasiu și oțel fosfat, precum și pentru expunerea substanțelor de bază ne rotunde și mici.
Specificitați
Principalele parametri tehnici
1. Tipul expunerii: expunere pe o singură fațetă 2. Zona de expunere: 110X110mm; 3. Uniformitatea expunerii: ≥ 97%; 4. Intensitatea expunerii: 0-30mw/cm2 ajustabilă; 5. Unghiul razei UV: ≤ 3 ° 6. Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm; 7. Durata de viață a surselor de lumină UV: ≥ 20000 de ore;(garanție de 2 ani) 8. Utilizarea obturatorului electronic; 9. Rezoluția expunerii: 1 μM 10.Gama de vizualizare a camerei: ± 15mm Y: ± 15mm 11. Zona de aliniere: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°. 12. Accuratețea alignerii: 1um (sub condiții de mediu bune) 13. Distanta de separare ajustabilă: 0-50um. 14. Metodă de expunere: expunere prin contact.(contact dur/mic/soft) 15. Metodă de echilibrare: Flotare cu aer. 16. Sistem microscopic: sistem CCD cu două câmpuri vizuale, obiectiv 1.6X~10X, sistem de procesare a imaginilor pe calculator, monitor LCD de 19 "; Mărirea totală 91-570x. distanța obiectivului: 50-120mm. 17. Dimensiunea masca: 127*127mm;102*102mm 18. Dimensiunea sustratului: Φ102mm;Φ76mm 19. Grosimea sustratului: ≤1mm 20. Timpul de expunere: 0-999.9 secunde ajustabile. 21.Putere: 220V 50Hz 1.5kw. 22.sursă de aer? 0.4Mpa 23.Gradul de vid: -0.07MPa~-0.09Mpa
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Putem să vă oferim o soluție profesională integrală pentru linia de ambalaj a extremului anterior și posterior al semiconductoanelor din China.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
