MDXN-25X Mașină de litografie cu o singură față de înaltă precizie, China MDXN-25X Mașină pentru litografie cu o singură față de înaltă precizie Producători, furnizori, fabrică

descrierea produsului

Acest echipament este o mașină de litografie de precizie dezvoltată de compania noastră special pentru caracteristicile de utilizare ale mașinilor de litografie în diferite colegii și instituții de cercetare. Este utilizat în principal pentru dezvoltarea și producția de circuite integrate mici și mijlocii, componente semiconductoare, dispozitive optoelectronice și dispozitive cu unde acustice de suprafață.

MDXN-25X Fabrică de mașini de litografie cu o singură față de înaltă precizie

Specificație

Parametrii tehnici principali

1. Dispozitivul poate adsorbi cu vid o mască pătrată de 5 "X5", fără cerințe speciale pentru grosimea plăcii (de la 1 la 3mm).
2. Dispozitivul poate fi aplicat pe un substrat circular de ф 100 mm;
3. Grosimea substratului ≤ 5mm;
4. Iluminat:
Sursă de lumină: GCQ350Z este utilizată o lampă cu mercur cu curent continuu cu mercur de ultra-înaltă presiune.
Interval de iluminare: ≤ ф 117mm Aria de expunere: ф 100mm
stați ф Într-un interval de 100 mm, denivelarea expunerii este ≤ ± 3%, iar intensitatea expunerii este >6mw/cm2 (acest indicator este măsurat folosind o sursă de lumină UV I-line 365nm).
5. Acest dispozitiv adoptă un releu de timp importat pentru a controla obturatorul pneumatic, asigurând o funcționare precisă și fiabilă.
6. Acest aparat este un aparat de expunere prin contact care poate realiza:
7. Expunere la contact dur: Folosiți vid în conductă pentru a obține un contact în vid înalt, vid ≤ -0.05 MPa
8. Expunere la contact moale: Presiunea de contact poate ridica vidul între -0.02 MPa și -0.05 MPa.
9. Expunere la micro contact: mai puțin decât contactul moale, vid ≥ -0.02MPa.
10. Rezoluția expunerii: Rezoluția expunerii la contact dur a acestui dispozitiv poate ajunge la 1 μ Peste m (precizia „plăcii” și „cipului” utilizatorului trebuie să respecte reglementările naționale, iar mediul, temperatura, umiditatea și praful pot să fie strict controlat. Se folosește fotorezistul pozitiv importat, iar grosimea fotorezistului uniform poate fi strict controlată.
11. Aliniere: Sistemul de observare constă din două camere CCD montate pe două microscoape cu un singur tub și conectate la ecranul de afișare printr-un cablu video.

Ambalare și livrare

Furnizor de mașini de litografie cu o singură față de înaltă precizie MDXN-25X

MDXN-25X Detalii mașină de litografie cu o singură față de înaltă precizie

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Vă putem oferi o soluție profesională pentru echipamente de linie de pachete de front-end și back-end cu semiconductor unic din China.