MDXN-25X Mașină de Litografie cu O SINGURĂ Parte cu Precizie Înaltă , China MDXN-25X Mașină de Litografie cu O SINGURĂ Parte cu Precizie Înaltă Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produs

Acest echipament este o mașinărie de litografie cu precizie dezvoltată de compania noastră exclusiv pentru caracteristicile de utilizare ale mașinilor de litografie în diferite universități și instituții de cercetare. Este folosită principală pentru dezvoltarea și producția de circuite integrate mici și medii, componente semiconductor, dispozitive optoelectronice, și dispozitive cu unde acustice de suprafață.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specificitați

Principalele parametri tehnici

1. Dispozitivul poate suge prin vacum o mască pătrată de 5" x 5", fără cerințe speciale privind grosimea plăcii (ranging from 1 to 3mm).
2. Dispozitivul poate fi aplicat unui substraț circular cu dimensiunea ф 100mm;
3. Grosimea substratului ≤ 5mm;
4. Iluminare:
Sursa de lumină: Se utilizează o lamă de mercuriu direct curent GCQ350Z cu presiune ultra mare;
Zona de iluminare: ≤ ф 117mm Zona de expunere: ф 100mm
în interiorul unei zone de ф 100mm, neuniformitatea expunerii este ≤ ± 3%, iar intensitatea expunerii este >6mw/cm2 (acest indicator este măsurat folosind sursa de lumină UV I-linie 365nm).
5. Acest dispozitiv utilizează un releu de timp importat pentru a controla persiana pneumatică, asigurând o funcționare precisă și de încredere.
6. Această mașină este o mașină de expunere prin contact care poate realiza:
7. Expunere prin contact dur: Se utilizează vacum prin conducte pentru a obține un contact la vacum ridicat, vacum ≤ -0.05MPa
8. Exponeren la contact soft: Presiunea de contact poate ridica vakuumul la între -0,02MPa și -0,05MPa.
9. Exponeren la contact mic: mai puțin decât la contact soft, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Rezoluție a exponerii: Rezoluția exponerii la contact dur al acestui aparat poate ajunge la peste 1 μm (precizia "plăcii" și a "cipului" aferente utilizatorului trebuie să respecte regulile naționale, iar mediul, temperatura, umiditatea și praful pot fi strict controlați. Se folosește fotorezist pozitiv importat, iar grosimea uniformă a fotorezistului poate fi strict controlată. În plus, procesele anterioare și ulterioare sunt avansate).
11. Aliniere: Sistemul de observare constă din două camere CCD montate pe două microsofocare cu tub singur și conectate la ecran prin un cablu video.

Împachetare și livrare

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Putem să vă oferim o soluție profesională integrală pentru linia de ambalaj a extremului anterior și posterior al semiconductoanelor din China.