1. Energie necesară pentru echipament: alimentare electrică a unității principale: 220V, 50HZ, consum de energie ≤1.5KW;
2. Echipat cu un pompu vacuum cu alimentare electrică de 220V;
3. Dimensiuni și greutate: Dimensiuni: 1200 (lungime) × 720 (lățime) × 1500 (înălțime). Greutate ≤170kg;
4. Plasați corpul mașinii pe o bancă de lucru dedicată;
5. Tip de expunere: tip contact, aliniere a plăcii, expunere bilaterală;
6. Zonă de expunere: φ100mm;
7. Neuniformitatea expunerii: ≤±3%;
8. Intensitatea expunerii: ≥5mw/cm2;
9.Rezoluție de expoziție: 2μm;
10.Mod de expoziție: Expoziție simultană pe ambele fețe;
11.Gama de aliniere: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Acuratețea gravurii: 2μm;
13.Gama de rotație: Ajustare a rotației în direcția Q ≤±5°;
14.Sistem microscopic: sistem CCD cu două câmpuri vizibile, obiectiv 1.6X~10X, sistem de procesare a imaginilor pe calculator, ecran LCD de 19";
15.Mărimea masca: Capabilă să adsorbe prin vacum