1.Energie necesară pentru echipamente: sursa de alimentare mainframe: 220V, 50HZ, consumul de energie≤1.5KW;
2.Echipată cu o pompă de vid cu o sursă de alimentare de 220V;
3. Dimensiune și greutate: Dimensiune: 1200 (lungime) × 720 (lățime) × 1500 (înălțime). Greutate ≤170kg;
4. Așezați corpul mașinii pe un banc de lucru dedicat;
5.Tip de expunere: tip de contact, aliniere plăci, expunere față-verso;
6.Zona de expunere:φ100mm;
7.Expunere neuniformă: ≤±3%;
8.Intensitatea expunerii: ≥5mw/cm2;
9.Rezoluția expunerii: 2μm;
10.Mod de expunere: expunere simultană dublu față;
11.Interval de aliniere: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Precizie gravura: 2μm;
13.Interval de rotație: ajustarea rotației direcției Q≤±5°;
14.Sistem microscopic: sistem CCD cu câmp vizual dublu, obiectiv obiectiv 1.6X~10X, sistem computer de procesare a imaginii, monitor LCD de 19";
15.Mărimea măștii: Capabil de adsorbție în vid