Acest echipament este destinat în principal dezvoltării și producției de circuite integrate mici și mijlocii, componente semiconductoare, și dispozitive cu undele acustice de suprafață. Datorită mecanismului avansat de nivelare și forței reduse de nivelare, această mașină nu este doar potrivită pentru expunerea diferitelor tipuri de substanțe de bază, dar și pentru expunerea substanțelor de bază fragile, cum ar fi arsenura de potasiu și oțel fosfat, precum și pentru expunerea substanțelor de bază ne rotunde și mici.
Specificitați
Principalele parametri tehnici
1. Tipul de expunere: contact, aliniere a plăcii, expunere unilaterală bilaterală 2. Zona de expunere: 110X110mm; 3. Uniformitatea expunerii: ≥ 97%; 4. Intensitatea expunerii: 0-30mw/cm2 ajustabilă; 5. Unghiul razei UV: ≤ 3 ° 6. Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm; 7. Durata de viață a surselor de lumină UV: ≥ 20000 de ore; 8. Temperatura suprafeței de lucru: ≤ 30 ℃ 9. Utilizarea unui obturator electronic; 10. Rezoluție de expoziție: 1 μ M (adâncimea expoziției este de aproximativ 10 ori lățimea liniei) 11. Mod de expoziție: Expoziție simultană pe ambele părți 12. Zonă de aliniere: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Acuratețea alinierii plăcii: 2 μ m 14. Zonă de rotație: Ajustare a rotației în direcția Q ≤ ± 5 ° 15. Sistem microscop: sistem CCD cu două câmpuri vizuale, obiectiv 1.6X~10X, sistem de procesare a imaginilor pe calculator, monitor LCD de 19 "; Amplificare totală 91-570x 16. Dimensiunea masca: Capabilă să absoarbsd vacumul pentru masca pătrată de 5 ", fără cerințe speciale privind grosimea mască (rândind între 1 și 3mm). 17. Dimensiunea sustratului: Potrivită pentru sustratul de 4 ", cu grosimea sustratului între 0.1 și 2mm. 18. La comandă, nu există cerințe speciale, iar raftul de 5" X5 este standard; puteți personaliza rafturile sub 5" X5:
Împachetare și livrare
Profilul companiei
Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Putem să vă oferim o soluție profesională integrală pentru linia de ambalaj a extremului anterior și posterior al semiconductoanelor din China.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
