MDXN-31D4 Mașină de litografie cu două fețe de înaltă precizie, China MDXN-31D4 Mașină de litografie cu două fețe de înaltă precizie Producători, furnizori, fabrică

descrierea produsului

Acest echipament este utilizat în principal pentru dezvoltarea și producția de circuite integrate mici și mijlocii, componente semiconductoare și dispozitive cu unde acustice de suprafață. Datorită mecanismului avansat de nivelare și a forței de nivelare scăzute, această mașină nu este potrivită numai pentru expunerea diferitelor tipuri de substraturi, ci și pentru expunerea substraturilor ușor fragmentate, cum ar fi arseniura de potasiu și oțelul fosfat, precum și expunerea la substanțe care nu sunt. substraturi circulare și mici.

MDXN-31D4 Detalii mașină de litografie pe două fețe de înaltă precizie

Specificație

Parametrii tehnici principali

1. Tipul de expunere: tip de contact, alinierea plăcii, expunere unică pe două fețe
2. Zona de expunere: 110X110mm;
3. Uniformitatea expunerii: ≥ 97%;
4. Intensitatea expunerii: 0-30mw/cm2 reglabila;
5. Unghiul fasciculului UV: ≤ 3 °
6. Lungimea de undă centrală a luminii ultraviolete: 365nm;
7. Durata de viață a sursei de lumină UV: ≥ 20000 ore;;
8. Temperatura suprafeței de lucru: ≤ 30 ℃
9. Adoptarea obturatorului electronic;
10. Rezoluție de expunere: 1 μ M (adâncimea de expunere este de aproximativ 10 ori lățimea liniei)
11. Modul de expunere: expunere simultană dublu față
12. Domeniu de aliniere: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Precizia alinierii plăcilor: 2 μ m
14. Domeniu de rotație: Ajustarea rotației în direcția Q ≤ ± 5 °
15. Sistem microscopic: sistem CCD cu câmp vizual dublu, obiectiv obiectiv 1.6X~10X, sistem de procesare a imaginii computerizată, monitor LCD de 19 "; Mărire totală 91-570x
16. Mărimea măștii: Capabil să absoarbă vidul măști pătrate de 5 ", fără cerințe speciale pentru grosimea măștii (de la 1 la 3 mm).
17. Dimensiunea substratului: Potrivit pentru substraturi de 4 ", cu grosimea substratului variind de la 0.1 la 2 mm.
18. La comanda, nu există cerințe speciale, iar un raft de 5 "X5 este standard; puteți personaliza rafturi sub 5" X5:

Ambalare și livrare

MDXN-31D4 Fabricarea mașinii de litografie cu două fețe de înaltă precizie

MDXN-31D4 Fabrică de mașini de litografie cu două fețe de înaltă precizie

Profilul companiei

Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Vă putem oferi o soluție profesională pentru echipamente de linie de pachete de front-end și back-end cu semiconductor unic din China.