Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți Cot

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

pagină de start
DESPRE NOI
MH Equipment
Soluție
Utilizatori din străinătate
Video
CONTACTAȚI-NE
Acasă> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate
  • PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate

PECVD Echipament cu depozitie chimică asistată prin plasmă la temperaturi ridicate

Obțineți un presupus gratuit
Descriere produs

Echipament de depunere chimică a vaporului asistat cu plasmă PECVD

◆ Controlul complet automat al timpului procesului, temperaturii, curgerii de gaz, mișcării valorilor și a presiunii camerei de reacție este realizat prin
computer industrial.
◆ Se utilizează un sistem de control al presului importat și un sistem în buclă închisă, cu o stabilitate ridicată.
◆ Se folosesc accesorii și robinete din oțel inoxidabil rezistent la coroziune importate pentru a asigura sigilitatea circuitului de gaz.
◆ Are o funcție de alarmă perfectă și un dispozitiv de blocare de siguranță.
◆ Are alarmă de temperatură ultra-marină și sub-temperatură, alarmă MFC, alarmă de presiune a camerei de reacție, alarmă RF, alarmă de presiune scăzută a aerului comprimat, alarmă de presiune scăzută a N2, și alarmă de debit scăzut al apei de răcire.
◆ PECVD-ul existent are, după actualizare, funcția de creștere a stratului de SiO2, care rezolvă problema PID a modulului de baterie. Poate crește stratul de SiNxOy (proces de pasivare posterioră), ceea ce poate îmbunătăți semnificativ eficiența de conversie a bateriei.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

TIP

◆ Cantitate încărcată: 384 bucăți/barcă (125 * 125); 336 bucăți/barcă (156 * 156)
◆ Procuritatea mesei de purificare: Clasă 100 (fabrică Clasă 10000)
◆ Grad de automatizare: control automat al temperaturii și procesului.
◆ Mod de trimitere și preluare a plăcilor: de tip amaraj suav, cu caracteristici stabilite și de încredere, fără străbuciri, poziționare precisă, capacitate de încărcare mare și viață utilă lungă.
Specificitați
Încărcarea maximă pe tub
384 bucati/baraș (125*125)
336 bucati/baraș (156*156)
Indice de procesare
± 3% pe tablete, ± 3% între tablete, ± 3% între loturi
Temperatură de funcționare
200~500℃
Acuratețe și lungime a zonei de temperatură (test închis static al tubului)
1200mm±1℃
Acuratețe a fluxului de gaz
±1%FS
Eroditatea sistemului de circuite de aer
1×10-7Pa.m³/S
Control
Sistem complet importat de reglare în buclă închisă a presiunii, control precis al vakuumului de reacție; alimentare cu putere la o frecvență de 40KHz înaltă
alimentare; aterizare moale a navetei; control digital complet, protecție perfectă și sigură a procesului de control.
Se pot alege 1 tub, 2 tuburi, 3 tuburi sau 4 tuburi; manipulatorul de încărcare automat este opțional, iar performanța echipamentului
și performanța procesului pot fi comparabile cu cele ale celor mai bune echipamente similare din lume.
Împachetare și livrare
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Pentru a asigura mai bine siguranța bunurilor dumneavoastră, vor fi furnizate servicii de ambalare profesionale, ecologice, convenabile și eficiente.
Profilul companiei
Avem 16 ani de experiență în vânzarea de echipamente. Putem să vă oferim o soluție profesională integrală pentru linia de ambalaj a extremului anterior și posterior al semiconductoanelor din China.

Mai multe produse

Cerere de informații

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de Confidențialitate

Cerere de informații Email WhatsApp Top
×

Pune-te în contact