Articol | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Dimensiune produs | ≤6 inci | ≤8 inci | ≤8 inci | ||
Sursa de alimentare RF | 0-300W/500W/1000W Potrivire reglabilă, automată | ||||
Pompa moleculară | -/620(L/s)/1300(L/s)/Personalizat | Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/Personalizat | |||
Pompă foreline | Pompă mecanică/pompă uscată | Pompă uscată | |||
Presiunea procesului | Presiune necontrolată/presiune controlată 0-1 Torr | ||||
Tipul de gaz | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Până la 9 canale, fără gaze corozive și toxice) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gama de gaze | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Da nu | Da | |||
Control temp eșantion | 10°C~Temperatura camerei/-30°C~100°C/Personalizat | -30°C~100°C /Personalizat | |||
Răcire spate cu heliu | Da nu | Da | |||
Căptușeala cavității de proces | Da nu | Da | |||
Controlul temperaturii peretelui cavităţii | Nu/Cameră~60/120°C | Temperatura camerei-60/120°C | |||
Sistem de control | Auto/personalizat | ||||
Material de gravare | Pe bază de siliciu: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiale magnetice/materiale aliaje Material metalic: Ni/Cr/Al/Au. Material organic: PR/PMMA/HDMS/film organic. | Pe bază de siliciu: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Materiale magnetice/materiale aliaje Material metalic: Ni/Cr/A1/Au. Material organic: PR/PMMA/HDMS/film organic. |
Potrivit pentru dispozitive cu microunde, dispozitive de alimentare etc.
Mașina Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) este o piesă de ultimă generație de tehnologie care poate grava și analiza diferite tipuri de materiale cu o precizie incredibilă. Această mașină este proiectată pentru utilizare în diverse industrii în care microfabricarea sau gravarea sunt necesare în mod regulat. Este realizat din materiale de înaltă calitate care îl fac durabil, fiabil și capabil să producă rezultate excelente.
Echipat cu un generator de plasmă RF este eficient. Sistemul RIE folosește un cuplaj inductiv pentru a obține plasmă din benzina alimentată. Această tehnică creează o plasmă de mare densitate care crește rata de gravare asociată cu produsul. Procesul de gravare al mașinii RIE este eficient, precis și extrem de controlabil, permițând atingerea unei adâncimi specifice. Această caracteristică este unică, fiind o alegere excelentă pentru cercetare sau lucrări industriale.
Mașina are o gamă largă de, inclusiv microelectronica, fabricarea MEMS și fabricarea semiconductorilor. Această mașină joacă un rol important în gravarea și microprelucrarea materialelor semiconductoare precum siliciul, arseniura de galiu și germaniul în industria semiconductoarelor. Dispozitivul Minder-High-tech RIE a fost în plus stabilit în industria MEMS pentru fabricarea de materiale moi și dure, cum ar fi poliimidă, dioxid de siliciu și nitrură de siliciu. În plus, este accesibil pentru analiza defecțiunilor în industriile asociate cu servicii și produse care sunt electronice.
Include caracteristici care sunt diverse, care îl fac ușor de utilizat. Este un software ușor de utilizat, care oferă operatorului control complet asupra parametrilor de gravare utilizați în dispozitiv. Setările aparatului sunt salvate în memoria sa este internă, poate stoca peste 100 de seturi de setări. Ecranul acestuia are o atingere care permite operatorului să seteze parametri precum mișcarea gazului, grosimea puterii și presiunea. Aparatul Minder-High-tech RIE are, de asemenea, o caracteristică de control al temperaturii care asigură că materialele sunt gravate la temperatura potrivită și oprește deteriorarea acestora.
Perfect pentru companiile care au nevoie de o mașină fiabilă și eficientă, care poate oferi rezultate exacte și precise. Acest dispozitiv a fost proiectat cu tehnologie de top și un nivel este mult. Versatilitatea și caracteristicile sale ușor de utilizat îl fac o alegere foarte bună pentru cercetare și aplicații industriale în diferite sectoare.
De asemenea, are un sistem eficient de analiză a defecțiunilor care permite mașinii să detecteze și să corecteze orice probleme mecanice cât mai curând posibil. Acest sistem asigură că mașina RIE menține calitatea și fiabilitatea înalte pe tot parcursul ciclului său de viață. Pentru orice industrie care necesită gravare precisă și eficientă sau microfabricare, mașina Minder-High-tech RIE este soluția perfectă.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate