articol |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Dimensiunea produsului |
≤6 inches |
≤8 inches |
≤8 inches |
||
Sursă de putere RF |
0-300W/500W/1000W Ajustabil, potențial automat |
||||
Pumpă Moleculare |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizat |
Antiseptic620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Personalizat |
|||
Pumpă Foreline |
Pumpă mecanică\/pumpă secă |
Pompă uscată |
|||
Presiunea procesului |
Presiune necontrolată\/0-1Torr presiune controlată |
||||
Tip de gaz |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Personalizat (Până la 9 canale, fără gaze corozive și toxice) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Până la 9 canale) |
|||
gama de gaze |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/personalizat |
||||
LoadLock |
Da\/Nu |
Da |
|||
Control temă eșantion |
10°C~Temă cameră/-30°C~100°C/Personalizat |
-30°C~100°C/Personalizat |
|||
Răcire cu helium din spate |
Da\/Nu |
Da |
|||
Tichetare cavitate proces |
Da\/Nu |
Da |
|||
Control temă perete cavitate |
Nu/Temă cameră~60/120°C |
Temă cameră-60/120°C |
|||
Sistem de Control |
Automat/personalizat |
||||
Material de etalare |
Bazat pe siliciu: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiale magnetice/alea metalice Material metallic: Ni/Cr/Al/Au. Material organic: PR/PMMA/HDMS/Film organic. |
Bazat pe siliciu: Si/SiO2/SiNx. III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (nota 3): CdTe. Materiale magnetice/alea metalice Material metallic: Ni/Cr/A1/Au. Material organic: PR/PMMA/HDMS/film organic. |
Adequat pentru dispozitive microvalvă, dispozitive de putere, etc.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) este o tehnologie de ultimă generație care poate efectua ușurii și analiza diferitelor tipuri de materiale cu o precizie incredibilă. Această mașină este concepută pentru a fi folosită în diverse industrii unde microfabricarea sau ușurarea sunt necesare în mod regulat. Este fabricată din materiale de înaltă calitate care o fac durabilă, de încredere și capabilă să producă rezultate excelente.
Echipată cu un generator de plasmă RF este eficientă. Sistemul RIE utilizează o cuplare inductivă pentru a crea plasmă din benzina de alimentare. Această tehnică creează un plasmă de înaltă densitate care crește viteza de ușurare asociată produsului. Procesul de ușurare al mașinii RIE este eficient, precis și extrem de controlabil, permițând obținerea unei adâncimi specifice. Această caracteristică o face pe aceasta o alegere excelentă atât pentru cercetare, cât și pentru lucrări industriale.
Masa are o gamă largă de aplicații, inclusiv microelectronica, fabricația MEMS și fabricația semiconductoarelor. Această mașinăriee joacă un rol important în etalarea și micromachinarea materialelor semiconductoare precum siliciul, arsenurul de galium și germaniul în industria semiconductoarelor. Dispozitivul Minder-High-tech RIE a fost de asemenea implementat în industria MEMS pentru fabricarea materialelor moale și dure, cum ar fi poliimida, dioxidul de siliciu și nitridul de siliciu. De asemenea, este disponibilă pentru analiza eșecurilor în industriile legate de servicii și produse electronice.
Include caracteristici diverse care îl fac ușor de utilizat. Este un software prietenos cu utilizatorul care oferă operatorului control complet asupra parametrilor de etalaj folosiți în dispozitiv. Setările mașinii sunt salvate în memoria sa internă și poate stoca peste 100 de seturi de setări. Are un ecran tactil care permite operatorului să ajusteze parametrii precum fluxul de gaz, densitatea puterii și presiunea. Mașina Minder-High-tech RIE are, de asemenea, o funcție de control al temperaturii care se asigură că materialele sunt etalonate la temperatura corectă și oprește dămecarea lor.
Perfect pentru companii care au nevoie de un dispozitiv sigur și eficient care poate oferi rezultate precise și exacte. Acest aparat a fost conceput cu tehnologie de top și un nivel foarte ridicat. Versatilitatea și caracteristicile sale prietenoase cu utilizatorul o fac pe aceasta o alegere foarte bună pentru aplicații de cercetare și industriale în diferite sectoare.
De asemenea, are un sistem eficient de analiză a eșecurilor care permite mașinării să detecteze și să corecteze orice probleme mecanice cât mai curând posibil. Acest sistem asigură că mașina RIE menține o calitate și o fiabilitate înalte pe tot parcursul ciclului său de viață. Pentru orice industrie care necesită ușurare sau microfabricație precisă și eficientă, mașina RIE Minder-High-tech este soluția perfectă.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved