Sursa de plasmă
|
Rf
|
||
Putere
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(opțiune)
|
||
Zonă de aplicare
|
4~8 inch
|
||
Numărul de felii procesate individual
|
1
|
||
Dimensiuni de aspect
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Controlul sistemului
|
PLC
|
||
Nivel de automatizare
|
Manual
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved