Echipamente pentru industria semiconductorilor MDLB-MC200 Curător Photomask

Nu.

Proiect

Specificații

Observaţii

1

Prezentare Echipament

Denumire dispozitiv: Curător pentru Photomask

Model echipament: MDLB-MC200

Dimensiuni generale (aproximativ): 1300mm (L) * 1000mm (G) * 1950mm (Î)

Greutate totală a mașinii (aproximativ): 300KG

Înălțime masă de operare: 900 ± 50mm

Specificatii dimensiunilor substractului: potrivite pentru plăci maskă pătrate de 2/4/5/6/8 inch

Flux de proces: plasarea manuală a discului → curățare (perche, soluție de curățare → apă la presiune ridicată → apă megasonic → apă dezonizată → uscat cu gaz nitrogen) → eliminare manuală a discului

Tipul echipamentului: semi-automat, încărcare și descărcare manuală

2

Constructia echipamentului

Corp: oțel inoxidabil, lisc, rezistent la coroziune, ușor de curățat

Camera de curățare: PP, liscă, rezistentă la coroziune, ușor de curățat

Conduite: se utilizează conducte PU/PFA potrivite

Illuminat pentru lucru: iluminat cu lumină galbenă anti-corozie

Stil de deschidere a ușii: Ușă dublă cu funcție de alarmă la deschiderea ușii

Ecran tactil: ecran tactil culorilor complet 10 inch * 1

FFU: Clasa 100

Suport antidebordare: disponibil

3

Motor servo cu precizie mare

Cantitate: 1

Viteza: -3000~3000rpm

Încărcare zero

Accelerarea maximă a rotației vilei: 3000rpm/S

Încărcare zero

Acuratețe viteza: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Rezoluție viteza: 1rpm

4

Brat oscilant automat

Cantitate: 3

Viteza bratului oscilant: 1~30 °/S

5

Unitate de curățare

Brat de curățare: 1 canal cu apă deionizată, 1 canal cu gaz nitrogen

Brăț Megasonic: 1 Megasonic, 1 Apă la Presiune Înaltă

Brăț cu perie: 1 perie, 1 apă, 1 soluție de curățare

Metodă de curățare: curățare automată

Funcția de sugeție a apei deionizate: disponibilă

Curățare inversă (apă deionizată): 1 rută

Metoda de aprovizionare: Soluție de curățare: Pompa cu diafragmă

Apă deionizată: aprovizionată direct de fabrică

Rezervor cu detecție a nivelului de lichid

6

Perie de curățare

Cantitate: 1 (cu funcție de auto-curățare)

Viteza: până la 1000rpm, viteza ajustabilă

Înălțime ajustabilă manual

7

Talier de încărcare

Cantitate: 5

Material: PPS+oțel inoxidabil

Dimensiune: Potrivit pentru plăci de mască pătrate de 2/4/5/6/8 inch

Metodă de fixare a substractului: Metodă de fixare cu gheare

8

Sistem de Control

Sistem de control: folosind control PLC

Program: 100 de grupuri, fiecare grup constând din 100 de pași, cu un timp maxim de 3000.0 secunde pentru un singur pas

Rezoluție: 0.1S

Programul poate fi salvat, chemat, modificat și șters

Setează permisiunile de criptare: pentru operatorii de dispozitiv, tehnicieni, administratori și producători, respectiv

Tipul torrei de semnal: 3 culori - roșu, galben, verde