Echipamente pentru industria semiconductoare MDLB-MC200 Producători de curățare pentru măști foto, China Echipamente pentru industria semiconductoare MDLB-MC200 Producători, furnizori, fabrici

MDLB-MC200

Detergent pentru masca foto

Unitate de curățare:

Camera de curățare este prelucrată cu materiale rezistente la coroziune, care au o suprafață netedă și sunt ușor de curățat. Există un orificiu de evacuare a deșeurilor în partea de jos a cavității interioare, care utilizează gravitația pentru a permite lichidului rezidual să fie descărcat în conducta de evacuare a deșeurilor din fabrică. Există un orificiu de aspirație în interiorul cavității, care poate extrage în timp util atmosfera din cavitate. Echipat cu 3 brate pivotante automate, poate realiza curatarea automata.

Tabelul parametrilor de configurare:

Nu.	Proiect	Specificații	Comentarii
1	Prezentare generală a echipamentelor	Nume dispozitiv: Photomask Cleaner
		Model echipament: MDLB-MC200
		Dimensiuni totale (aproximativ): 1300 mm (L) * 1000 mm (D) * 1950 mm (Î)
		Greutatea întregii mașini (aproximativ): 300 kg
		Înălțimea mesei de operație: 900 ± 50mm
		Specificații dimensiunii substratului: potrivite pentru plăci de mască pătrate de 2/4/5/6/8 inch
		Fluxul procesului: plasarea manuală a plachetelor → curățare (perie, soluție de curățare → apă de înaltă presiune → apă megasonică → apă deionizată → uscare cu azot gazos) → îndepărtarea manuală a plachetelor
		Tip echipament: semiautomate, incarcare si descarcare manuala
2	Construcția echipamentelor	Carcasă: oțel inoxidabil, netedă, rezistentă la coroziune, ușor de curățat
		Camera de curățare: PP, netedă, rezistentă la coroziune, ușor de curățat
		Conductă: este utilizată conducta de potrivire PU/PFA
		Iluminat de lucru: iluminat galben anticoroziv
		Stilul de deschidere a ușii: Ușă dublă cu funcție de alarmă de deschidere a ușii
		Ecran tactil: ecran tactil color de 10 inchi * 1
		FFU: clasa 100
		Suport inferior rezistent la scurgeri: disponibil
3	Servomotor de înaltă precizie	Cantitate: 1
		Viteza: -3000~3000rpm	Încărcătură goală
		Accelerație maximă de rotație a arborelui: 3000rpm/S	Încărcătură goală
		Precizia vitezei: ± 1rpm (50rpm ~ 3000rpm)
		Rezoluție viteză: 1 rpm
4	Brat oscilant automat	Cantitate: 3
4	Brat oscilant automat	Viteza brațului oscilant: 1~30 °/S
5	unitate de curățare	Braț pivotant de curățare: 1 canal de apă deionizată, 1 canal de azot gazos Braț Megasonic: 1 Megasonic, 1 apă de înaltă presiune Brațul periei: 1 perie, 1 apă, 1 soluție de curățare
		Metoda de curățare: curățare automată
		Funcția de aspirare a apei deionizate: disponibilă
		Spalare in contra (apa deionizata): 1 cale
		Mod de alimentare: Soluție de curățare: Pompă cu diafragmă Apa deionizata: furnizata direct de fabrica
		Rezervor sub presiune cu detectarea nivelului lichidului
6	Perie perie	Cantitate: 1 (cu functie de autocuratare)
		Viteza: pana la 1000rpm, viteza reglabila
		Inaltime reglabila manual
7	Încărcați tava	Cantitate: 5
		Material: PPS + oțel inoxidabil
		Dimensiune: Potrivit pentru plăci de mască pătrate de 2/4/5/6/8 inch
		Metoda de fixare a substratului: Metoda de fixare cu gheare
8	Sistem de control	Sistem de control: folosind controlul PLC
		Program: 100 de grupuri, fiecare grup constând din 100 de pași, cu un timp maxim de un singur pas de 3000.0 secunde Rezoluție: 0.1S
		Programul poate fi salvat, apelat, modificat și șters
		Setați permisiunile de criptare: pentru operatorii de dispozitive, tehnicieni, administratori și, respectiv, producători
		Tip turn de semnalizare: roșu, galben, verde 3 culori