Parametru tehnic |
Mod de măsurare |
PSI/VSI/supra adâncimea de câmp/luminet |
Câmp de vedere unic pentru măsurare (lentilă obiectiv 20×) |
500*350μm (montaj automat) |
|
Ajustare a unghiului |
±12° manual |
|
Ajustare pe axa Z |
20mm electric + 50mm manual (mecanism de ajustare grosieră și fină) |
|
Gama de scaneare longitudinală |
0-10 mm |
|
Rezoluție longitudinală |
<0.2nm |
|
Repetabilitatea măsurării rugosimii longitudinală |
0.01nm (mod PSI) |
|
eroarea de indicație a înălțimii treptei măsurare |
<0.75% (mod VSI) |
|
Rezoluție laterală: @550nm |
0.69μm (lupă obiectiv 20×) |
|
Reflectivitatea măsurabilă a eșantionului |
0.1%-100% |
|
Timp de măsurare |
<5s (mod PSI) |
|
Functie de analiza |
Functie de analiza |
măsurare a înălțimii în 3D, analiză a asperității în 3D, măsurare a dimensiunilor în 2D |
ieșire date 3D |
date punct cloud 3D, date imagine cu tonuri de gri, raport personalizat |
Prelungire obiectiv |
2.5x |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Diafragma numerică |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Rezoluție optică @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Adâncimea focarei (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Distanța de lucru (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved