РоссияРеактивное ионное травление звучит как устрашающий термин, но на самом деле это метод, который люди используют для превращения небольших технологических деталей в детали размером с завтрак. Эти маленькие кусочки являются ключевыми ингредиентами в самых разных устройствах, используемых каждый день, таких как смартфоны, компьютеры и т. д. Основная функция этого процесса — удаление участков материала, чтобы можно было создавать крошечные и точные детали. В этой статье мы поговорим о том, что такое реактивное ионное травление — положительные и отрицательные стороны работы с РИЭ по сравнению с другими методами плазмохимической обработки; роль плазмохимии в этом процессе; как можно добиться высококачественных результатов, правильно используя оборудование RIE, и, наконец, где оно занимает свое место в качестве технологического инструментачитать crh xvv.
Реактивное ионное травление — это сложный метод, в котором крошечные ионы и газ откалывают кусочки материала. Думайте об этом как о мощной струе, которая выборочно распыляет материал, придавая ему точную форму. Он включает в себя выброс этих ионов на поверхность материала. Когда ионы ударяются о материал, они вступают с ним в реакцию и распадаются на мельчайшие кусочки, которые можно удалить. Вы помещаете материал в своего рода коробку, полностью герметичную и свободную от воздуха, называемую вакуумной камерой. Эти маленькие частицы генерируются с помощью радиочастотной энергии, создавая ионы.
Реактивное ионное травление является одним из лучших, когда дело касается деталей. Это означает, что он может создавать высокоточные угловые и изогнутые детали, но это делается с помощью газа, а не жидкости. Это означает, что детали, созданные этим методом, буквально соответствуют своему назначению по технологии [1]. Кроме того, это один из самых быстрых процессов; большее количество деталей может быть изготовлено за короткий период. Поскольку этот процесс очень быстрый, он может быть весьма эффективным для компаний с большим спросом на определенную деталь.
Но у реактивного ионного травления тоже есть проблемы. Он подходит не для всех типов материалов, так как некоторые виды не поддаются лазерной резке. И для этого необходимы соответствующие температура и давление на месте. Также должны присутствовать правильные условия, иначе новый процесс может оказаться неэффективным. Единственным недостатком является то, что его внедрение может оказаться непомерно дорогостоящим по сравнению с другими методами травления, что может удержать некоторые предприятия от использования преимуществ порошкового покрытия.
Значительное место в процессе реактивного ионного травления занимает плазмохимия. Эти ионы, вырабатываемые плазмой, вызывают разрыв химических связей материала, что приводит к резке. Как только связи разрываются, материал распадается на мельчайшие кусочки, которые затем улетают с потоком газа. То, что образуется во время химической реакции, может зависеть от типа используемого газа. Например, газообразный азот может обеспечить аккуратное травление, позволяющее удалять материалы, не оставляя нежелательных остатков, тогда как газообразный кислород обеспечивает другой тип травления, который может подойти в зависимости от требований.
Строгий контроль процесса имеет решающее значение для достижения хороших результатов при реактивном ионном травлении. Это требует измерения многих параметров, включая температуру, давление, расход газа и энергию ионов. Стабильная окружающая среда способствует стабильным и предсказуемым результатам на линии травления. Если одна из этих переменных не контролируется эффективно, это может повлиять на конечный продукт. Кроме того, перед началом травления необходима очистка материала и его надлежащая подготовка. Если все время было потрачено на подготовку материала для травления, это должно привести к лучшим результатам.
Примером может служить реактивное ионное травление, обычно используемое в микрофабриках для изготовления очень мелких деталей для различных технических гаджетов. Одна из вещей, для которых графен полезен, — это производство крошечных электронных схем, датчиков и микрофлюидных устройств, которые необходимы для современных технологий. Он также используется при создании микроэлектромеханических систем (МЭМС), которые представляют собой небольшие устройства, которые могут буквально видеть, слышать, чувствовать и перемещать предметы по одной молекуле за раз. Эти нг МЭМС используются во многих приложениях: от небольших устройств, таких как смартфоны, до более крупных инструментов и даже медицинского оборудования. Среди этих процессов реактивное ионное травление играет решающую роль, поскольку оно позволяет создавать крошечные и точные детали, необходимые для таких передовых технологий.
Гуанчжоу Миндер-Хайтэк Ко., Лтд.
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
