1. MDAM-CMPA200 — идеальная система шлифовки и полировки для массового производства различных материалов пластин (SiC, Сапфир, GaN, AlN...) компонентов, таких как фильтрующие материалы, клиновидные материалы, панели LCD и т.д.
2. Четыре моторных привода и четыре дополнительных крупных полировальных головки позволяют одновременно полировать до 48 пластин размером 2". Таким образом, станок серии MP является идеальным для использования в условиях полной загрузки производства.
3. Панель автоматического управления станка использует портативный сенсорный экран, а параметры процесса могут быть свободно введены и изменены.
4. Автоматическое управление и интеллектуальные системы загрузки/выгрузки могут быстро полировать пластины до поверхностей, готовых для эпитаксиального роста. Эта система особенно полезна при обработке жестких субстратных материалов и может также обрабатывать пластины диаметром до 8".
5. Точильно-полировальный станок MDAM-CMPA200 включает в себя основной агрегат, систему дистанционного управления, зажимное устройство, вакуумную систему, систему заполнения, точильные и полировальные диски и т.д.
6. Точильно-полировальный станок MDAM-CMPA200, основной агрегат и все запасные части изготовлены из высокоустойчивых к коррозии материалов, вся машина устойчива к коррозии и подходит для химико-механического шлифования и полировки различных полупроводниковых материалов.
7. Через независимую систему дистанционного управления можно также достичь совместного управления несколькими машинами. С помощью одного терминала управления можно контролировать несколько точильных и полировальных станков, что облегчает изменение технологических параметров во время процесса. Также можно достигнуть точного числового контроля нескольких процессов одновременно, значительно повышая производительность труда и точность процесса.
8.Система автоматического заполнения может регулировать скорость капли в зависимости от различных процессов, и автоматически выключаться, когда абразив заканчивается, чтобы предотвратить повреждение образца при отсутствии абразива.
9.Система управления оборудованием имеет функцию таймера. После достижения заданного времени система автоматически выключается.