|
Размер пластины
|
4”~ 8” пластина
|
|
Толщина пластины
|
100~750 микрон
|
|
Тип пластины
|
Si, SiC, GaN или другие материалы
|
|
Тип пленки
|
Синяя пленка, УФ-пленка
Ширина: 230 ~ 300 мм Длина: 100 м Толщина: 0.05 ~ 0.2 мм |
|
Кольцо для перевозки пластин
|
6”, 8” DISCO
|
|
Метод загрузки и выгрузки
|
Ручная установка и снятие пластины/кольца
|
|
Точность позиционирования пленки
|
±0,5 мм
Стандартные пластинчатые держатели для пластин 6” и 8” |
|
Вакуумный насос
|
Minder-Hightech
|
|
Контроль антистатики
|
Вентилятор деионизации
|
|
Управляющий блок
|
На основе управления PLC, с сенсорным экраном 10"
|
|
Защита безопасности
|
Комплектуется защитной световой завесой и кнопкой аварийной остановки
|
|
Напряжение питания
|
Однофазный переменный ток 220В, 16А
|
|
Сжатый воздух
|
0.45~0.6МПа, расход 70Л/мин
|
|
Корпус машины
|
Металлический корпус, окрашенный белым пластиком
|
|
Громкость
|
850мм (ширина)*1750мм (глубина)*1970мм (высота)
|
|
Вес нетто
|
480кг
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
