Гуанчжоу Миндер-Хайтэк Ко., Лтд.

Главная
О Нас
МХ оборудование
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
Свяжитесь с нами
Главная> Маска-выравниватель
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине
  • Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине

Фотолитография на выравнивателе/выравнивающей машине Россия

Описание продуктов
Литографическая машина для выравнивания масок
Mask Aligner в основном используется при разработке и производстве малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов, оптоэлектронных устройств, устройств на поверхностных акустических волнах, тонкопленочных схем и силовых электронных устройств.
Устройство для выравнивания масок. Также известное как: экспонирующая машина для выравнивания маски, система экспонирования, система литографии и т. д., является основным оборудованием для производства чипов. Он использует технологию, аналогичную фотопечати, для печати мелких узоров на маске на кремниевой пластине под воздействием света.
В основном состоит из: высокоточного выравнивающего стола, бинокулярного вертикального микроскопа с разделенным полем зрения, бинокулярного горизонтального микроскопа с разделенным полем зрения, цифровой камеры, компьютерной системы памяти изображений, экспонирующей головки с многоточечным источником света (летающего глаза), системы управления ПЛК, пневматическая система, вакуумная система, вакуумный насос с прямым подключением, вспомогательный антивибрационный стол и ящик для принадлежностей.
Производство фотолитографических машин для выравнивания/выравнивания
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Характеристика
1. Высокая однородность экспозиционной головки с муховым глазом / механизм выравнивания воздушной флотации / надежное вакуумное зажимное воздействие. высокое разрешение.
2. Метод выравнивания с помощью маски обеспечивает стабильность и подачу подложки, что обеспечивает постоянство направляющей силы тяжести и силы.
3. Использование прямой направляющей без зазоров, высокая точность и быстрая скорость.
4. Все модели подходят для работы со всеми стандартными фоторезистами. такие как АЗ, Шипли, СУ 8.
5. Все модели. Качество рисунка, передаваемого системой на подложку при 5 нанесении маски, должно быть таким же, как качество рисунка после нанесения первой маски.
6. Время экспозиции регулируется от 1 секунды до 1 часа. Точность выравнивания 1 мкм
Aligner /Поставщик фотолитографической машины для выравнивания
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Производство фотолитографических машин для выравнивания/выравнивания
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Производство фотолитографических машин для выравнивания/выравнивания
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Спецификация
Модель
МД-Г25А
МД-Г25Д
МД-Г31

МД-Г33



Тип экспозиции
Одна сторона

Двустороннее выравнивание и двусторонняя экспозиция



режим экспозиции
Контакт жесткий, мягкий и бесконтактный.




Количество экспозиционной головки
1 экспонирующая головка

2 экспонирующая головка



Тип источника света
Сферическая ртутная лампа GCQ350



Светодиодная головка УФ-экспонирования

способ охлаждения
Воздушное охлаждение




Площадь экспозиции
Φ100mm
110 × 110mm
Φ100mm

150mm × 150mm



режим экспозиции
Совместим с контактом твердым, мягким




Неравномерность экспозиции
Φ100 мм<±3%<>
≤ ± 3%




Разрешение экспозиции
2μm
1 мкм




Интенсивность луча (365 нм)
≥6 МВт/см²
≤40 МВт/см2
≥5 МВт/см2

0~30мВт/см2



Неоднородность пучка
≤ ± 4%
≤ ± 3%




Максимальный угол отклонения УФ-излучения




Диапазон освещения
≤Φ117 мм
Φ117mm
≤Φ117 мм

Передняя и задняя часть ≥ Φ115 мм



Режим компенсации клиновой ошибки
Полусферическая автоматическая компенсация

Автоматическое исключение

3-точечная автоматическая компенсация


Перемещение по осям X и Y
± 4mm
± 5mm
± 4mm

± 5 мм



Путешествие θ
± 3 °
≤5 °
≤ ± 5º

≤0.5 °



Разрешение смещения подложки XYZ
0.5μm
0.3μm
0.3μm

0.01μm



Система микроскопа
Два одноцилиндровых микроскопа/две ПЗС-камеры




Размер дисплея
15 дюймов




Разрешение системы визуализации
2μm
1.5μm
1.5μm

1.5μm



Расстояние измерения маски и подложки
0.5 мкм
0.3 мкм




Диагональный размер поверхности мишени ПЗС
1/3 (6 мм)



40 мм ~ 110 мм

Настройка размера стола
≤ Квадрат 5*5 дюймов (настраиваемые характеристики)




Размер подложек
Φ 100 мм или квадрат 100*100 мм
60*49.5 мм квадратный
2 "-4"

1"x1"-5"x5"



Толщина подложки
1-3mm
≤5 мм
1-3mm

≤5 мм



Вакуумный насос
Безмасляный звук (-0.07~-0.08MPα)




Чистый сжатый воздух
≥0.4МПα




Напряжение питания
220 В переменного тока ± 10%, 50 Гц, 1.5 кВт




Уровень чистоты помещения
Класс 100




Температура чистой комнаты
25 ℃ & plusmn; 2 ℃




Относительная влажность чистого помещения
≤60%




Амплитуда вибрации чистой комнаты
≤4 мкм




Размер оборудования
1300 × 720 × 1600 мм


1500 × 800 × 1600 мм


Вес оборудования
200кг


280кг


Производство высокоточной системы выравнивания должно иметь почти идеальную точность механического процесса. Еще одной технической проблемой системы юстировки является юстировка микроскопа. Чтобы расширить поле зрения микроскопа, многие высокотехнологичные литографические машины используют светодиодное освещение. Имеется два комплекта системы выравнивания с функцией фокусировки. В основном он состоит из двух глаз и двух полей зрения, направленных на основной корпус микроскопа, одной пары окуляров и одной пары объективов (литографическая машина обычно предоставляет пользователям окуляр и объектив с разным увеличением). Функция системы выравнивания CCD заключается в увеличении меток совмещения маски и образца и отображении их на мониторе.
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Этап заготовки является ключевой частью литографической машины, которая состоит из этапа общего движения образца маски (XY), этапа относительного движения образца маски (XY), этапа вращения, механизма выравнивания образца, механизма фокусировки образца. , этап пластины, зажим маски и этап выдвижной маски. Механизм выравнивания образца состоит из шарового седла и полусферы. В процессе выравнивания сначала на седло шара и полусферу подается сжатый воздух, а затем седло шара, полусфера и образец перемещаются вверх через фокусирующее маховик, так что образец образца можно выровнять по маске, а затем двухпозиционный трехходовой электромагнитный клапан переключает седло шара и полусферу на вакуум для блокировки для поддержания состояния выравнивания.
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Aligner /Поставщик фотолитографической машины для выравнивания
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine
Подробности фотолитографии на выравнивателе / ​​машине выравнивания
Фабрика фотолитографии Aligner/Alignment Machine



Minder-Hightech предлагает вам передовую технологию фотолитографии с помощью выравнивателя/выравнивателя.

 

Вы боретесь с недостаточной точностью при печати схем на ваших электронных продуктах? Используя выравниватель/выравниватель Minder-Hightech, вы можете быть спокойны, зная, что достигнете высокого уровня точности при производстве печатных плат.

 

С помощью этого революционного продукта вы можете легко перенести изображение высокого разрешения на изделие с помощью фотолитографии. Эта машина гарантирует точность благодаря операционной системе совмещения материала с изображением.

 

После того, как фотографии были распечатаны и загружены, машина рассчитывает необходимое количество экспозиций и то, как материал согласуется с упоминанием изображений. Этот расчет выполняется с использованием новейшего компьютерного программного обеспечения, которое можно обновлять в соответствии с технологическим развитием производственной отрасли.

 

Это позволит вам изготавливать широкий ассортимент, включая микросхемы, радиочастотные (ВЧ) схемы и встроенные схемы. Установка может обеспечить наилучшую глубину травления, ширину дорожек и выравнивание слоев за счет добавления различных дополнительных процедур, таких как химическое травление и гальваническое покрытие.

 

Преимущество нашего продукта заключается в его способности обеспечивать высокую точность выравнивания, что гарантирует точное расположение рисунков на материале. Вы можете удобно распечатать множество сложных дизайнов без каких-либо деформаций.

 

Он удобен в использовании, компактен и эффективен, что делает его подходящим для различных производственных предприятий или компаний разного размера. Кроме того, наше устройство проходит ручное обслуживание и обучение на месте с участием нашей команды службы технической поддержки.

 

В машине выравнивания/выравнивания Minder-Hightech используется технология фотолитографии, которая поможет вам добиться наилучших результатов при печати схем. Испытайте новый уровень технологий, который предлагает вам высокую точность и точность, с которыми не могут сравниться традиционные методы печати. Машина для выравнивания/выравнивания Minder-Hightech – это то, что нужно вашей производственной компании, чтобы оставаться на шаг впереди конкурентов. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы воспользоваться преимуществами лучших на рынке технологий выравнивающих/центровочных машин.


Написать

Написать Эл. адрес WhatsApp WeChat
Рейтинг
×

Контакты