ЗАПРОС DESCUM Удаление фотолака ICP Сухая плазменная установка для удаления фотолака , China ЗАПРОС DESCUM Удаление фотолака ICP Сухая плазменная установка для удаления фотолака Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

ICP Сухая плазменная установка для удаления фотосопротивов

ICP сухая плазменная установка для удаления фотосопротивов主要用于 удаление полимеров, ASHING, DESCUM, удаление фотосопротивов после ионной имплантации и удаление поверхностных остатков. Камера подходит для образцов размером 4-8 дюймов, с обработкой 1-2 штук за один цикл.

Мытье
Удаление полимера
Сухое удаление твердого слоя маски
Удаление фото-resist после ионной имплантации
Удаление фотосопротивления в процессе BAW/SAW
Сухая очистка слоя антирефлексного графического пленочного покрытия
Удаление остатков с поверхности
Очистка поверхности после травления
DESCUM

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine details

ASKING DESCUM photoresist removal ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine factory

Характеристики

Плазма			RF	RF
Мощность	ICP	1000 Вт	1000 Вт
Мощность		BIAS	600w(опция)	600w(опция)
Область применения			4~8 дюймов	4~8 дюймов
Количество обрабатываемых срезов			1	2
Габаритные размеры			1080x1840x1800мм	1340x2050x1800мм
Управление системой			Промышленная система управления	Промышленная система управления
Уровень автоматизации			автоматическая	автоматическая