Автоматическая очистка постов CMP, Китай Автоматическая очистка постов CMP Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

Оборудование для очистки после химико-механической полировки пластин

CMP Post Chean

Возможности машины

Сильные технологические возможности
Двухкамерная щеточная обработка с широким спектром применения
Оборудование занимает небольшую площадь, габариты 2200*800*2200 (мм)

Области применения

6-8 дюймов CMP после чистки
Очистка после шлифования SIC или других оснований

Технические характеристики

Очистка после 4-дюймового и 6-дюймового CMP
Двухкамерная конструкция, независимая работа камер. Намочить и высушить или высушить и высушить.
Высокоскоростная сушка SRD

Блок LoadPort, загрузочный блок

LoadPort — загрузочная единица этого устройства

Влажное кассетное кормление
Имеет функцию распыления увлажняющего средства.

Щеточный узел, узел очистки пластин

Двухкамерный агрегат, способный поддерживать два различных чистящих раствора
Положение щетки можно регулировать в соответствии с рецептом. Ленточный конвейер

Узел SRD, узел сушки пластин

Центробежная сушка с зажимом для пластин, максимальная скорость 4000 об/мин.
Может выполнять очистку AS на поверхности пластины и распылять DIW

Узел РАЗГРУЗКИ, узел резки

Блок выгрузки имеет независимый FFU для обеспечения чистоты выходных пластин.

Конвейер

Влажная зона — ленточный конвейер

Сухая зона для телепортации робота

Описание щеточного блока

Как показано на левом рисунке, щеточный узел данного устройства состоит из двух щеточных узлов, а именно BU1 и BU2.

Давление щетки каждого блока можно регулировать отдельно (как указано в рецепте), а каждый блок лезвий щетки можно промывать разными химическими чистящими растворами по отдельности.

В качестве щетки машины используется щетка из ПВА, которая широко используется на рынке.
Передача между полостями осуществляется ленточным конвейером. Внутри полости находится DIW RINSE

блок SRD

Блок SRD оснащен зажимным патроном и AS ARM, которые могут дополнительно физически очищать и центробежно сушить поверхность пластины.

Спецификация

Размер оборудования:	2200 * 800 * 2200 (мм)
Методы погрузки и разгрузки	сухой внутрь/мокрый внутрь/высохнуть наружу
Количество щеточных узлов	2
Количество единиц SRD	1
Транспортный метод	Транспортировка ленты в мокрой зоне, транспортировка робота в сухой зоне
Габариты оборудования с камерой 1 щеточной составляют 18508002200.

Упаковка и доставка

О компании

FAQ

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и договорные. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности настройки вашего устройства.

2. О образце:
Мы можем предоставить вам услуги по изготовлению образцов, но с вас может взиматься определенная плата.

3. Об оплате：
После того, как план будет утвержден, вам необходимо сначала заплатить нам депозит, и фабрика начнет подготовку товара. После
Оборудование готово, вы оплачиваете остаток, мы его отправляем.

4. О доставке:
После завершения изготовления оборудования мы вышлем Вам видеоприемки, также Вы можете приехать на объект для осмотра оборудования.

5. Установка и отладка:
После того, как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем отправить инженеров для установки и отладки оборудования. Мы предоставим вам отдельную смету на эту услугу.

6. О гарантии:

Наше оборудование имеет 12-месячную гарантию. По истечении гарантийного срока, если какие-либо детали будут повреждены и потребуют замены, мы взимаем только себестоимость.