Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Получить цену

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Главная страница
О НАС
MH Equipment
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
Главная> MH Equipment> Шлифовальный и полировальный станок
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP
  • Автоматическая очистка после CMP

Автоматическая очистка после CMP

Получить бесплатную консультацию
Описание продукта

Оборудование для очистки после химико-механической полировки пластин

Очистка после CMP

Характеристики машины

Сильная процессная способность
Двойная камера для щеточной очистки, с широким диапазоном процессной применимости
Оборудование занимает небольшую площадь, с размерами 2200 * 800 * 2200 (мм)

Области применения

щеточная очистка после CMP 6-8 дюймов
Очистка после шлифовки SIC или других субстратов

Технические параметры

Очистка после 4-дюймового и 6-дюймового CMP
Двухкамерный дизайн, независимая работа камер Wet in and dry out или dry in and dry out
Высокоскоростная центробежная сушка SRD

Единица LoadPort, загрузочный модуль

LoadPort является загрузочным модулем этого устройства
Подача мокрой кассеты
Имеет функцию распыления увлажнителя

Щеточный модуль, модуль очистки пластин Wafer

Двухкамерный модуль, способный поддерживать два разных раствора для очистки
Положение щетки может быть отрегулировано в соответствии с рецептом. Конвейерная лента

Блок СРD, блок просушки пластин

Зажим типа пластин для центробежной сушки, с максимальной скоростью 4000 об/мин
Может выполнять очистку AS на поверхности пластины и распыление ДИВ

Блок выгрузки, режущий блок

У блока выгрузки есть независимый FFU для обеспечения чистоты вывода пластины

Конвейер

Влажная зона - конвейерная лента
Сухая зона для телепортации робота

Описание щеточной установки

Как показано на левой схеме, щеточная установка данного устройства состоит из двух щеточных модулей, а именно BU1 и BU2.
Давление щетки каждого модуля может настраиваться отдельно (как указано в рецепте), и каждый блок щетки может быть промыт различными химическими очистителями по отдельности.
Щетка машины сделана из ПВА, что является часто используемым типом на рынке.
Передача между камерами осуществляется с помощью ленточного конвейера. Внутри камеры есть промывка DIW RINSE.

Модуль SRD

Модуль SRD оснащен зажимом CHUCK и манипулятором AS ARM, которые могут дополнительно физически очищать и высушивать поверхность пластины вращением.
Характеристики
Размер оборудования:
2200 * 800 * 2200 (мм)
Способы загрузки и выгрузки
сухой вход/влажный вход/сухой выход
Количество моющих модулей
2
Количество модулей SRD
1
Способ транспортировки
Транспортировка в зоне увлажнения осуществляется конвейерным способом, в сухой зоне - роботом
Размер оборудования с камераю для щеточной очистки 1 составляет 1850 * 800 * 2200
Упаковка и доставка
Профиль компании
ЧАВО
1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана, вам нужно сначала внести предоплату, и завод начнет готовить товар. После того, как
оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы его отправим.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:

Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Больше продуктов

Запрос

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Политика конфиденциальности

Запрос Email WhatsApp WeChat
Top
×

Свяжитесь с нами